[發(fā)明專利]一種掩模板

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210226736.1
• 申請(qǐng)日: 2012-06-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102749801A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝振宇;郭建
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F1/00
• 分類號(hào): G03F1/00
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種掩模板，包括：狹縫狀透光區(qū)域和不透光區(qū)域，其特征在于，所述狹縫狀透光區(qū)域的邊緣呈凸起狀。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述凸起狀為鋸齒狀或波浪狀。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述狹縫狀透光區(qū)域每一邊緣上的任意相鄰?fù)蛊鸩糠种g的距離相等，所述狹縫狀透光區(qū)域每一邊緣上的任意相鄰凹進(jìn)去部分之間的距離相等。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述狹縫狀透光區(qū)域的兩邊緣呈鋸齒狀，凸起部分的形狀為以凸起的角為頂角的等腰三角形，凹進(jìn)去部分的形狀為以凹進(jìn)去的角為頂角的等腰三角形；或

狹縫狀透光區(qū)域的兩邊緣呈鋸齒狀，凸起部分的形狀為以凸起的角為頂角的等腰三角形，凹進(jìn)去的部分的形狀為與等腰三角形共腰的等腰梯形。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掩模板，其特征在于，所述等腰三角形的頂角范圍為15°至75°。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述狹縫狀透光區(qū)域的兩邊緣鏡像對(duì)稱。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述狹縫狀透光區(qū)域的兩邊緣任意相對(duì)凸起部分之間的距離相等；和/或

所述狹縫狀透光區(qū)域的兩邊緣任意相對(duì)凹進(jìn)去部分之間的距離相等。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩模板，其特征在于，兩邊緣上任意相對(duì)兩凸起部分之間的距離在1μm至3μm之間，兩邊緣上任意相對(duì)凹進(jìn)去部分之間的距離為3μm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一權(quán)項(xiàng)所述的掩模板，其特征在于，狹縫狀透光區(qū)域的每一邊緣的兩端為凸起狀或凹狀。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的掩模板，其特征在于，當(dāng)狹縫狀透光區(qū)域的每一邊緣的兩端為凸起狀時(shí)，凸起部分的形狀為直角三角形或直角梯形。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的掩模板，其特征在于，當(dāng)狹縫狀透光區(qū)域每一邊緣的兩端為凹狀時(shí)，狹縫狀透光區(qū)域兩邊緣的兩端相對(duì)凸起部分之間的距離小于狹縫狀透光區(qū)域兩邊緣中間相對(duì)凸起部分之間的距離；或者

狹縫狀透光區(qū)域所有相對(duì)凸起部分之間的距離相等，狹縫狀透光區(qū)域邊緣兩端相對(duì)凹進(jìn)去部分之間的距離小于狹縫狀透光區(qū)域邊緣中間相對(duì)凹進(jìn)去部分之間的距離。