[發(fā)明專利]光學(xué)組件及其制造方法、光伏器件無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210226532.8 | 申請(qǐng)日: | 2012-06-29 |
| 公開(公告)號(hào): | CN102842623A | 公開(公告)日: | 2012-12-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 谷鋆鑫;王正佳;陳捷 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 法國圣戈班玻璃公司 |
| 主分類號(hào): | H01L31/0216 | 分類號(hào): | H01L31/0216;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人: | 朱勝;李春暉 |
| 地址: | 法國*** | 國省代碼: | 法國;FR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 光學(xué) 組件 及其 制造 方法 器件 | ||
1.一種光學(xué)組件,其特征在于,包括:
基底;
抗反射膜,覆蓋于所述基底上,所述抗反射膜包括多個(gè)位于所述基底上的納米棒,所述納米棒與所述基底不相接觸的端面形成有臺(tái)階結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)組件,其特征在于,所述納米棒為氧化鋅納米棒、二氧化鈦納米棒或氧化銦錫納米棒。
3.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)組件,其特征在于,所述端面形成有凹陷,所述臺(tái)階結(jié)構(gòu)由所述凹陷形成。
4.如權(quán)利要求3所述的光學(xué)組件,其特征在于,所述納米棒為具有六角棱柱晶體結(jié)構(gòu)的氧化鋅納米棒,所述凹陷由(001)晶面刻蝕而成。
5.如權(quán)利要求3所述的光學(xué)組件,其特征在于,所述凹陷的深度為形成所述凹陷的納米棒長度的0.1~0.9倍。
6.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)組件,其特征在于,所述基底的材料為玻璃、金屬或塑料。
7.一種光伏器件,其特征在于,包括:
如權(quán)利要求1~6中任一權(quán)利要求所述的光學(xué)組件,所述光學(xué)組件中的基底為透明基底;
太陽能電池,位于所述透明基底未設(shè)置抗反射膜的一側(cè)。
8.如權(quán)利要求7所述的光伏器件,其特征在于,所述透明基底的材料為有機(jī)玻璃或塑料。
9.一種光學(xué)組件的制造方法,其特征在于,包括:
提供基底;
在所述基底上形成多個(gè)納米棒;
在所述納米棒與所述基底不相接觸的端面形成臺(tái)階結(jié)構(gòu)。
10.如權(quán)利要求9所述的制造方法,其特征在于,在提供基底之后,形成納米棒之前還包括清洗所述基底。
11.如權(quán)利要求10所述的制造方法,其特征在于,所述基底為玻璃,所述清洗所述基底的步驟包括:
依次通過丙酮、異丙醇和去離子水對(duì)所述基底進(jìn)行超聲波震蕩清洗;
通過氫氟酸或硝酸溶液對(duì)所述基底進(jìn)行粗糙化處理。
12.如權(quán)利要求9、10或11所述的制造方法,其特征在于,所述納米棒為氧化鋅納米棒,形成納米棒的步驟包括:
將醋酸鋅和單乙醇胺溶解于乙醇,形成涂膜溶液;
將所述涂膜溶液通過旋涂的方式涂覆在基底上;
對(duì)所述基底進(jìn)行加熱,使所述涂膜溶液分解,在所述基底上形成氧化鋅晶種;
將六水合硝酸鋅和環(huán)六亞甲基四胺溶液混合,形成生長溶液;
將形成有氧化鋅晶種的基底放置于所述生長溶液中,以在所述晶種所在位置處生長氧化鋅納米棒。
13.如權(quán)利要求12所述的制造方法,其特征在于,形成氧化鋅晶種的步驟包括:大氣壓下,對(duì)所述基底加熱至300~400℃,以所述溫度對(duì)基底加熱持續(xù)0.5~2小時(shí),以使所述涂膜溶液分解。
14.如權(quán)利要求12所述的制造方法,其特征在于,生長氧化鋅納米棒的步驟包括:將形成有氧化鋅晶種的基底放置于溫度為80~95℃的所述生長溶液中,持續(xù)120~300分鐘,以形成氧化鋅納米棒。
15.如權(quán)利要求9所述的制造方法,其特征在于,在形成納米棒之后,形成臺(tái)階結(jié)構(gòu)之前,還包括:
通過去離子水清洗所述納米棒,以去除殘余溶液;
清洗之后,將形成有納米棒的基底晾干。
16.如權(quán)利要求9所述的制造方法,其特征在于,在納米棒與所述基底不相接觸的端面形成臺(tái)階結(jié)構(gòu)的步驟包括:將形成有納米棒的基底放置在刻蝕溶液中,通過所述刻蝕溶液在所述納米棒與基底不相接觸的端面上刻蝕出臺(tái)階結(jié)構(gòu)。
17.如權(quán)利要求9所述的制造方法,其特征在于,所述納米棒為氧化鋅納米棒;在納米棒與所述基底不相接觸的端面形成臺(tái)階結(jié)構(gòu)的步驟包括:通過酸性或堿性溶液刻蝕氧化鋅納米棒的(001)晶面,在所述端面形成凹陷,以形成由所述凹陷形成的臺(tái)階結(jié)構(gòu)。
18.如權(quán)利要求17所述的制造方法,其特征在于,通過酸性或堿性溶液刻蝕納米棒的(001)晶面的步驟包括:在溫度為20~85℃的條件下,將氧化鋅納米棒放置于鹽酸溶液中持續(xù)5~60分鐘,所述鹽酸的濃度位于0.001~0.1摩爾/升范圍內(nèi)。
19.如權(quán)利要求17所述的制造方法,其特征在于,通過酸性或堿性溶液刻蝕納米棒的(001)晶面的步驟包括:在溫度為20~85℃的條件下,將氧化鋅納米棒放置氫氧化鉀溶液中持續(xù)5~60分鐘,所述氫氧化鉀的濃度位于0.001~0.1摩爾/升范圍內(nèi)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
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