[發明專利]一種橢圓偏振光譜儀中單色儀的校準方法

無效

• 申請號: 201210226072.9
• 申請日: 2012-07-03
• 公開（公告）號: CN102735337A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 韓培高;宋連科;夏云杰;閆珂柱;郝殿中;魏麗梅
• 申請（專利權）人: 曲阜師范大學
• 主分類號: G01J3/12
• 分類號: G01J3/12;G01J3/28
• 代理公司: 濟南泉城專利商標事務所 37218
• 代理人: 李桂存

1.一種橢圓偏振光譜儀中單色儀的校準方法，其特征是包括以下步驟：

（1）將待校準的橢圓偏振光譜儀的起偏臂和檢偏臂調至水平透射模式；

（2）旋轉起偏臂中的起偏器，將氙燈出射光調為P方向振動的線偏光，在起偏臂和檢偏臂之間放入檢偏器，旋轉檢偏器至消光；

（3）將標準石英波片放入起偏臂和檢偏器之間，使入射光線垂直波片表面，旋轉標準石英波片使光軸沿水平方向，再次消光；

（4）旋轉起偏臂中的起偏器，將出射線偏光振動方向調至與P方向成45度角方向；

（5）撤出檢偏器，掃描需校準波段的橢偏光譜，得到標準石英波片在P、S兩方向上位相差色散曲線；

（6）將上述步驟（5）得到的P、S兩方向上位相差色散曲線與所使用的標準石英波片在相同條件下的P、S兩方向上位相差的理論色散曲線進行比較，將實際波長校準至理論波長，實現對橢圓偏振光譜儀中單色儀波長的校準。

2.根據權利要求1所述的校準方法，其特征在于步驟（6）中計算標準石英波片在P、S兩方向上位相差的理論色散曲線時，取0～360度范圍內的曲線作為標準石英波片在P、S兩方向上位相差的理論曲線。

3.根據權利要求2所述的校準方法，其特征在于將實際波長校準至理論波長，具體步驟為：①在步驟（5）得到的P、S兩方向上位相差色散曲線與理論色散曲線圖中作等相位線，等相位的水平直線與兩曲線相交，兩個交點間的波長差值即為該點的校準值；

②如果實際測量的P、S兩方向上位相差色散曲線相對理論色散曲線整體向右平移，單色儀波長的準確讀數應該在原讀數的基礎上減去校準值；如果實際測量的P、S兩方向上位相差色散曲線相對理論色散曲線整體向左平移，單色儀波長的準確讀數應該在原讀數的基礎上加上校準值。

4.根據權利要求1-3中任一項所述的校準方法，其特征在于標準石英波片幾何厚度為635μm。

5.根據權利要求1-3中任一項所述的校準方法，其特征在于入射線波長為820～900nm。

6.根據權利要求4中所述的校準方法，其特征在于入射線波長為820～900nm。