[發(fā)明專利]基板撓度測(cè)試方法及系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210224530.5
• 申請(qǐng)日: 2012-06-29
• 公開（公告）號(hào): CN103292720A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊曉春
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海中航光電子有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/16
• 分類號(hào): G01B11/16;G01B11/02
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于顯示面板制作領(lǐng)域，尤其涉及一種基板撓度測(cè)試方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著顯示技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)顯示面板的要求也越來越高，尤其是要求基板（一般為玻璃基板）越來越薄，但由于基板的厚度越薄，其撓度越大，相應(yīng)的，在顯示面板的制作過程中，基板的碎片率就會(huì)越來越大，因此，為了盡量減小碎片率，同時(shí)為減小顯示面板的制作成本，避免制作過程中發(fā)生碎片，需要提前測(cè)試基板的撓度，當(dāng)其撓度超過預(yù)定值時(shí)，則將其作為不合格基板淘汰。

目前，多采用人工檢測(cè)的方式測(cè)量基板撓度，檢測(cè)過程為，將基板放置在測(cè)量工具上，將基板中間用手托起放平，之后手慢慢放下，直至基板脫離手掌后開始人工測(cè)量基板的下垂距離，即得到基板撓度。人工檢測(cè)只能線下（Off?Line）檢測(cè)，檢測(cè)過程中會(huì)碰觸基板，難以避免的會(huì)對(duì)基板造成污染，從而影響產(chǎn)品的合格率，并且，人工檢測(cè)誤差大，且無法進(jìn)行大批量的基板撓度測(cè)試，因此，急需一種在線（On?Line）檢測(cè)方式來監(jiān)控基板的撓度。

現(xiàn)有技術(shù)中比較常用的在線檢測(cè)裝置主要由兩種，一種如申請(qǐng)?zhí)枮?00320121253.1的專利申請(qǐng)文件中公開的玻璃彎曲度檢測(cè)裝置，以下簡(jiǎn)稱現(xiàn)有技術(shù)一，一種如申請(qǐng)?zhí)枮閁S2007/0017253A1的專利申請(qǐng)文件中公開的基板撓度檢測(cè)裝置，以下簡(jiǎn)稱現(xiàn)有技術(shù)二。

現(xiàn)有技術(shù)一的結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示，在基板6上方和滾道7兩側(cè)設(shè)有一“冂”形支架1，在支架橫梁內(nèi)側(cè)設(shè)有若干個(gè)安裝孔3，安裝孔3下面設(shè)有若干個(gè)測(cè)量孔4，超聲波測(cè)距傳感器5置于測(cè)量孔上，其檢測(cè)基板撓度的原理是，通過接收被玻璃基板反射的超聲波測(cè)距信號(hào)來測(cè)量玻璃基板的撓度。

現(xiàn)有技術(shù)二的結(jié)構(gòu)示意圖如圖2所示，測(cè)試過程和測(cè)試原理是，將玻璃基板放置在一測(cè)試環(huán)21上，即測(cè)試環(huán)21支撐在玻璃基板下表面的邊緣，測(cè)試環(huán)的材質(zhì)很軟，在玻璃基板22的壓力下，測(cè)試環(huán)21會(huì)發(fā)生形變，通過測(cè)試支撐在玻璃基板下方的測(cè)試環(huán)下垂量最大位置處的下垂度，來測(cè)試玻璃基板的撓度，在測(cè)試跨度A固定的情況下，測(cè)試環(huán)下垂量最大位置處的下垂度即為玻璃基板的撓度。

在實(shí)際生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)，采用上述兩種測(cè)試方法測(cè)得的玻璃基板的撓度往往不夠準(zhǔn)確，在生產(chǎn)過程中發(fā)生碎片的幾率還是較大。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種基板撓度測(cè)試方法及系統(tǒng)，在不直接接觸基板正面的基礎(chǔ)上，提高了基板撓度的在線測(cè)量的準(zhǔn)確度，降低了顯示面板生產(chǎn)過程中發(fā)生碎片的幾率。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實(shí)施例提供了以下技術(shù)方案：

一種基板撓度測(cè)量系統(tǒng)，包括：氣浮臺(tái)，用于放置所述基板；可自由移動(dòng)的多個(gè)支撐頭，測(cè)量時(shí)所述多個(gè)支撐頭抬起所述基板，在工作狀態(tài)下，所述基板向所述氣浮臺(tái)表面方向彎曲，所述多個(gè)支撐頭呈矩形排列，所述矩形的兩個(gè)鄰邊分別平行于待測(cè)基板兩個(gè)鄰邊，其中，所述矩形的第一邊及與第一邊相對(duì)的第三邊上僅設(shè)置有兩個(gè)支撐頭，第二邊及與第二邊相對(duì)的第四邊上設(shè)置有至少兩個(gè)支撐頭；可沿所述基板彎曲方向上下移動(dòng)的第一激光發(fā)生器和第一信號(hào)接收器，所述第一信號(hào)接收器接收所述第一激光發(fā)生器所發(fā)出的激光信號(hào)，第一激光發(fā)生器發(fā)出的激光能夠穿過所述基板彎曲時(shí)的最低點(diǎn)；控制器，用于控制各個(gè)支撐頭以及第一激光發(fā)生器和第一信號(hào)接收器的移動(dòng)；并根據(jù)一次測(cè)量過程中，所述第一激光發(fā)生器和第一信號(hào)接收器上升高度，以及抬起所述基板后，所述支撐頭頂部相對(duì)于所述第一激光發(fā)生器和第一信號(hào)接收器的起始位置的升起高度，計(jì)算出所述基板的撓度。

優(yōu)選的，所述矩形的第二邊和第四邊的支撐頭數(shù)量分別至少為3個(gè)，所述第一激光發(fā)生器發(fā)出的光可與所述基板的第一中軸線相交，所述第一中軸線為所述基板彎曲時(shí)的最低點(diǎn)的集合。

優(yōu)選的，還包括：與所述第一激光發(fā)生器和第一信號(hào)接收器相連的第一傳動(dòng)裝置，該第一傳動(dòng)裝置控制所述第一激光發(fā)生器和第一信號(hào)接收器沿所述基板彎曲方向上下移動(dòng)。

優(yōu)選的，還包括：位于所述氣浮臺(tái)四邊的多個(gè)邊輪，所述邊輪可在平行于所述氣浮臺(tái)表面的平面內(nèi)移動(dòng)。

優(yōu)選的，所述邊輪的移動(dòng)方向垂直于自身所在的氣浮臺(tái)的相應(yīng)邊。

優(yōu)選的，還包括：與所述邊輪相連的第二傳動(dòng)裝置，該第二傳動(dòng)裝置控制所述邊輪在平行于所述氣浮臺(tái)表面的平面內(nèi)移動(dòng)。

優(yōu)選的，所述第二傳動(dòng)裝置的數(shù)量與所述邊輪的數(shù)量相等。

優(yōu)選的，所述第二傳動(dòng)裝置包括：下表面設(shè)置有多個(gè)鋸齒的邊輪支架，所述邊輪的輪軸設(shè)置在所述邊輪支架的一端，且所述邊輪的輪軸垂直于所述邊輪支架表面；與所述邊輪支架下表面的鋸齒相嚙合的第二驅(qū)動(dòng)齒輪。