[發明專利]氣體檢測前處理裝置與氣體檢測方法

有效

• 申請號: 201210223923.4
• 申請日: 2012-07-02
• 公開（公告）號: CN103529132A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發明（設計）人: 應松;陳熔;張鳳利;鄒震;陳華;林宇巍
• 申請（專利權）人: 福州市產品質量檢驗所
• 主分類號: G01N30/02
• 分類號: G01N30/02;G01N30/06
• 代理公司: 深圳冠華專利事務所(普通合伙) 44267
• 代理人: 夏聲平

1.一種氣體檢測前處理裝置，用于對混合氣體進行色譜分析，其特征在于：該氣體檢測前處理裝置包括惰性氣體氣瓶、標準氣體氣瓶、待測氣體氣瓶、分離單元、第一連接管路、冷卻單元及接口單元，該惰性氣體氣瓶、該標準氣體氣瓶及該待測氣體氣瓶的分別具有出口管路，該惰性氣體氣瓶、該標準氣體氣瓶及該待測氣體氣瓶的出口管路分別與該第一連接管路連接，該第一連接管路與該分離單元相連，該分離單元包括控制通道及分離室，該控制通道上設有第一控制閥、第二控制閥與第三控制閥，該第一控制閥與該第二控制閥入口端分別與該第一連接管路相連，該第二控制閥與該第三控制閥的出口端分別與該接口單元相連，該第一控制閥位于該第一連接管路與該分離室之間，該第二控制閥位于該第一連接管路與該接口單元之間，該第三控制閥位于該分離室與該接口單元之間，該分離室位于該冷卻單元內。

2.一種如權利要求1所述的氣體檢測前處理裝置，其特征在于：該接口單元還設有流量計及吹掃排空口。

3.一種如權利要求1所述的氣體檢測前處理裝置，其特征在于：該惰性氣體氣瓶、該標準氣體氣瓶及該待測氣體氣瓶的出口管路上還分別設有吹掃排空口。

4.一種如權利要求3所述的氣體檢測前處理裝置，其特征在于：該惰性氣體氣瓶、該標準氣體氣瓶及該待測氣體氣瓶分別依次經由高壓盤管、第四控制閥及高壓減壓器與第一連接管路連接，每個高壓減壓器與相應的吹掃排空口之間還設有第五控制閥。

5.一種如權利要求1所述的氣體檢測前處理裝置，其特征在于：該冷卻單元包含液氮，該分離室由盤管構成。

6.一種氣體檢測方法，其包括以下步驟：

（1）將惰性氣體、標準氣體及待測混合氣體分別裝入如權利要求1所述的氣體檢測前處理裝置的該惰性氣體氣瓶、該標準氣體氣瓶及該待測氣體氣瓶中；

（2）利用上述的氣體檢測前處理裝置的該惰性氣體氣瓶中的惰性氣體吹掃整個管路；

（3）用該標準氣體氣瓶的標準氣體吹掃整個管路，關閉第一控制閥和第三控制閥，將一定量的標準氣體封存在該分離室內并冷卻一段適當時間以將該標準氣體中的部分氣體分離出來；

（4）用該惰性氣體氣瓶的惰性氣體將該分離出的該部分標準氣體吹入該接口單元，并進入氣相色譜儀中進行分析；

（5）利用該惰性氣體氣瓶中的惰性氣體吹掃整個管路；

（6）用待測氣體氣瓶中的待測混合氣體吹掃整個管路，關閉第一控制閥和第三控制閥，將一定量的待測混合氣體封存在該分離室內并冷卻一段適當時間以將該待測混合氣體的部分氣體分離出來；

（7）用該惰性氣體氣瓶的惰性氣體將分離出的該部分待測混合氣體吹入該接口單元，并進入氣相色譜儀中進行分析；

（8）用標準氣體標定待測混合氣體中雜質的含量。

7.一種如權利要求7所述的氣體檢測方法，其特征在于：該待測混合氣體的主組分為硅烷或鍺烷。

8.一種如權利要求8所述的氣體檢測方法，其特征在于：該標準氣體或該待測混合氣體在管路中的流速為60～100毫升/分鐘，該冷卻單元的冷卻溫度為-150℃。

9.一種如權利要求7所述的氣體檢測方法，其特征在于：該冷卻單元包含配制有異戊烷的液氮以作為冷卻劑以控制冷卻溫度。