[發明專利]一種閘板閥

無效

• 申請號: 201210223437.2
• 申請日: 2012-07-02
• 公開（公告）號: CN102720851A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發明（設計）人: 徐俞;張紀才;徐琳;王建峰;徐科
• 申請（專利權）人: 蘇州納維科技有限公司
• 主分類號: F16K3/18
• 分類號: F16K3/18;F16K31/12;C23C16/44
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218
• 代理人: 孫佳胤

技術領域

本發明涉及一種閘板閥，尤其涉及在高溫條件下工作的真空設備管路中的閘板閥。

背景技術

目前，很多半導體材料都采用化學氣相沉積（CVD）方法來實現其必要的工藝，如硅擴散工藝、氫化物氣相外延等，這些工藝都需要在較高的溫度條件下實現，一般采用高溫爐體，由于同時需要使用不同的氣體實現化學反應，涉及到氣體流通腔室在高溫環境下設置開關兩個狀態，若要兩個以上腔室切換工作，就需要使用高溫閘板閥來實現。

由于工作介質（高溫氣體）或輻射產生的溫度較高，采用傳統的真空閘板閥，容易導致閘板在高溫下變形，從而導致閘板無法正常開合及無法實現密封等等情況，最終導致整個閘板閥無法正常工作。因此，急需一種既可以在高溫環境下正常開合，又可以實現密封的閘板閥。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種閘板閥，來解決現有技術中存在的問題和不足。

為達上述的目的，本發明提供了一種閘板閥，包括一閘板，還包括內殼和蓋板，所述閘板包括水嘴、連桿和方板；所述方板兩端分別固接一連桿，兩根連桿另一端分別設有所述水嘴；所述方板上設有一通孔；所述方板與連桿為中空結構，且兩者的中空結構相連通；所述閘板設置于內殼中，內殼與閘板間設有密封件，所述蓋板設置于閘板兩端，所述固定螺栓固接在蓋板上，且與所述閘板的連桿接觸，從而將內殼與閘板之間壓緊。

進一步，所述密封件為橡膠圈。

進一步，所述內殼為中空結構，設有內殼通孔，且通有多個內殼水嘴。其作用是在高溫條件下使用時，從水嘴向中空部位通入循環冷卻水，降低內殼溫度。

進一步，所述的閘板閥還包括外殼和蓋板，外殼一端夾在閘板與內殼中間，另一端固接有蓋板；所述外殼為四塊，閘板兩端各有兩塊；所述蓋板為四塊，閘板兩端各有兩塊。閘板閥采用內殼和外殼的組合方式，便于維修拆卸。

進一步，所述的閘板閥還包括動力裝置，所述動力裝置與閘板一端相連。

進一步，所述動力裝置包括氣缸和連接件，氣缸與連接件相連，連接件與閘板一端相連。其作用是為閘板在其軸向上的移動提供動力。

進一步，所述的閘板閥還包括閘板與蓋板之間的連接桿以及該連接桿的密封套管；所述密封套管一端與閘板的方板固接，另一端與蓋板固接；所述閘板與蓋板之間的連接桿以及密封套管為四個，閘板兩端各有兩個，且每端的兩個分別設置在連桿兩側，在移動閘板時，一組閘板與蓋板之間的連接桿以及密封套管伸長，另一組壓縮，密封套管的作用在于保證閘板與蓋板之間的連接桿與外界密封。

進一步，所述密封套管為波紋管。

綜上所述，本發明的優點在于：

（1）可以降低閘板閥工作時的溫度，實現閘板閥的正常開合；

（2）可以實現更好的密封效果；

（3）使用壽命長。

附圖說明

圖1為本發明所述裝置的結構示意圖；

圖2為沿圖1中A方向的閘板結構示意圖。

圖中標記所示如下：

1、閘板???????????????????101、方板?????????

102、通孔?????????????????103、第一連桿

104、第二連桿?????????????105、第一水嘴

106、第二水嘴?????????????2、內殼

3、外殼???????????????????4、密封件

5、蓋板???????????????????6、氣缸

7、連接件?????????????????8、波紋管

901、第一固定螺栓?????????902、第二固定螺栓

10、內殼水嘴。

具體實施方式

本具體實施方式將結合附圖做進一步的說明。

如圖1和圖2所示，一種閘板閥，包括閘板1、內殼2、外殼3、蓋板5、波紋管8、氣缸6、連接件7、固定螺栓和密封件4。

所述閘板1又包括水嘴、連桿、和方板101；所述方板101上設有一通孔102，沿方板101軸向的兩端分別固接第一連桿103和第二連桿104，第一連桿103另一端接有第一水嘴105，第二連桿104另一端接有第二水嘴106；所述方板101與連桿為中空結構，且兩者的中空結構相連通。其作用是在高溫條件下使用時，從水嘴向中空部位通入循環冷卻水，降低閘板1溫度，使其在高溫條件下也可正常工作。