[發明專利]LOVE波型超微量物質質量的測量裝置有效
| 申請號： | 201210222513.8 | 申請日： | 2012-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN102749130A | 公開（公告）日： | 2012-10-24 |
| 發明（設計）人： | 文常保;丁娜;巨永鋒;許宏科;李演明;溫立民 | 申請（專利權）人： | 長安大學 |
| 主分類號： | G01G9/00 | 分類號： | G01G9/00 |
| 代理公司： | 西安恒泰知識產權代理事務所 61216 | 代理人： | 林兵 |
| 地址： | 710064*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | love 波型超 微量 物質 質量 測量 裝置 | ||
1.一種LOVE波型微量物質質量的測量裝置，其特征在于，包括在同一壓電基片材料（1）上制作的一個輸入叉指換能器（2）、兩個相同的輸出叉指換能器（3）、輸入叉指換能器的第一電極（5）、輸入叉指換能器的第二電極（6）、輸出叉指換能器的第一電極（7）、輸出叉指換能器的第二電極（8），以及覆蓋在輸入叉指換能器（2）、輸出叉指換能器（3）和壓電基片（1）上的LOVE波波導層（4）；所述輸入叉指換能器的第一電極（5）、輸入叉指換能器的第二電極（6）、輸出叉指換能器的第一電極（7）和輸出叉指換能器的第二電極（8）的末端均從LOVE波波導層（4）中伸出；所述兩個輸出叉指換能器（3）分別對稱設置在輸入叉指換能器（2）的左、右兩側，輸入叉指換能器（2）與輸出叉指換能器（3）之間的區域為測量區域（9）。
2.如權利要求1所述的LOVE波型微量物質質量的測量裝置，其特征在于，所述的LOVE波波導層（4）的厚度h的計算公式為：
式中，厚度h指LOVE波波導層（4）在水平高度上高出壓電基片材料（1）的距離，單位：米；VS是在壓電基片材料（1）上傳播的聲表面波速度，單位：米/秒；VL是在LOVE波波導層（4）中傳播的LOVE波速度，單位：米/秒；f為所設計器件的中心頻率，單位：赫茲。
3.如權利要求1所述的LOVE波型微量物質質量的測量裝置，其特征在于，所述的LOVE波波導層（4）采用體橫波速度、密度均小于壓電基片材料（1）體橫波速度、密度的材料。
4.如權利要求1所述的LOVE波型微量物質質量的測量裝置，其特征在于，所述的輸入叉指換能器（2）與輸出叉指換能器（3）具有相同尺寸的聲孔徑，該聲孔徑的尺寸為壓電基片材料（1）上聲表面波波長的60倍到100倍。
5.如權利要求1所述的LOVE波型微量物質質量的測量裝置，其特征在于，所述的輸入叉指換能器（2）與兩個輸出叉指換能器（3）之間的間距相等，均為1微米到5厘米。
6.如權利要求5所述的LOVE波型微量物質質量的測量裝置，其特征在于，所述輸入叉指換能器（2）與每個輸出叉指換能器（3）之間的間距為5毫米。
7.如權利要求1所述的LOVE波型微量物質質量的測量裝置，其特征在于，所述的輸入叉指換能器（2）和輸出叉指換能器（3）是等叉指換能器或變跡叉指換能器。
8.如權利要求1所述的LOVE波型微量物質質量的測量裝置，其特征在于，所述的壓電基片材料（1）采用壓電晶體。
9.如權利要求1所述的LOVE波型微量物質質量的測量裝置，其特征在于，所述的輸入叉指換能器的第一電極（5）、輸入叉指換能器的第二電極（6）、輸出叉指換能器的第一電極（7）和輸出叉指換能器的第二電極（8）從LOVE波波導層（4）伸出的長度均大于1微米。
10.如權利要求9所述的LOVE波型微量物質質量的測量裝置，其特征在于，所述的輸入叉指換能器的第一電極（5）、輸入叉指換能器的第二電極（6）、輸出叉指換能器的第一電極（7）和輸出叉指換能器的第二電極（8）從LOVE波波導層（4）伸出的長度均為2毫米。
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