[發明專利]一種利用氣缸伸縮的推桿式晶圓夾持裝置無效

申請號：	201210222215.9	申請日：	2012-06-28
公開（公告）號：	CN102738056A	公開（公告）日：	2012-10-17
發明（設計）人：	朱煜;楊開明;李鑫;汪勁松;胡金春;張鳴;徐登峰;穆海華;尹文生;余東東;崔樂卿	申請（專利權）人：	清華大學
主分類號：	H01L21/687	分類號：	H01L21/687;H01L21/677
代理公司：	北京鴻元知識產權代理有限公司 11327	代理人：	邸更巖
地址：	100084 北京市海淀區1***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種利用氣缸伸縮推桿式晶圓夾持裝置
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【權利要求書】：

1.一種利用氣缸伸縮的推桿式晶圓夾持裝置，其特征在于：該夾持裝置含有一個薄片V型托盤（101），V型托盤前端的兩側分別設有一個固定元件（102），該固定元件呈上下粗中間細的鼓形，其母線由傾斜的直線段(102a)和圓弧段(102b)光滑過渡而成；在薄片V型托盤上設有四個凸起支撐元件(103)，該四個凸起支撐元件(103)位于與晶圓同心的圓周上，且對角的兩個凸起支撐元件(103)的連線通過晶圓圓心；薄片V型托盤（101）末端安裝有一個氣動裝置（200），該氣動裝置包括氣缸(202)、推桿(201)和限位塊(203)；氣缸（202）固定在薄片V型托盤（101）上，限位塊(203)固定在氣缸(202)上，用于限定推桿的移動距離；推桿(201)一端與彈性元件(108)連接，另一端與氣動裝置連接，使推桿(201)帶動彈性元件(108)沿水平直線移動；彈性元件（108）兩側對稱布置有固定件（106）；每個固定件(106)上設有一個與固定元件(102)形狀相同的可移動夾子（105）。

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