[發(fā)明專利]一種三維超材料及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210222170.5
• 申請(qǐng)日: 2012-06-29
• 公開（公告）號(hào): CN102769200A
• 公開（公告）日: 2012-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉若鵬;趙治亞;繆錫根;熊曉磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳光啟創(chuàng)新技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01Q15/00
• 分類號(hào): H01Q15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種三維超材料的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括以下步驟：

在曲面基材的內(nèi)壁鍍銅，再在銅層表面旋涂或噴涂一層光刻膠；

根據(jù)曲面基材內(nèi)壁金屬微結(jié)構(gòu)的排布的逆向光路投影的仿真結(jié)果制備光刻掩膜板；

將制備好的光刻掩膜板覆蓋在所述曲面基材涂有光刻膠的區(qū)域，然后進(jìn)行光刻，獲得所需的金屬微結(jié)構(gòu)，制成三維超材料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維超材料的制備方法，其特征在于，所述曲面基材為曲面陶瓷基材。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三維超材料的制備方法，其特征在于，所述曲面陶瓷基材內(nèi)壁鍍銅的具體步驟為：

先在所述曲面陶瓷基材內(nèi)壁進(jìn)行化學(xué)鍍銅，然后再電鍍銅層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維超材料的制備方法，其特征在于，制備所述金屬微結(jié)構(gòu)所用的金屬為銅、鋁、銀、鉑、鉬、鎢或銀鈀合金。

5.一種三維超材料，其特征在于，包括權(quán)利要求1~4任一項(xiàng)所述的方法制備的三維超材料。