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[發明專利]一種三維超材料及其制備方法有效

專利信息
申請號: 201210222170.5 申請日: 2012-06-29
公開(公告)號: CN102769200A 公開(公告)日: 2012-11-07
發明(設計)人: 劉若鵬;趙治亞;繆錫根;熊曉磊 申請(專利權)人: 深圳光啟創新技術有限公司
主分類號: H01Q15/00 分類號: H01Q15/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 518034 廣東省深圳市福田*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 三維 材料 及其 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種三維超材料的制備方法,其特征在于,所述制備方法包括以下步驟:

在曲面基材的內壁鍍銅,再在銅層表面旋涂或噴涂一層光刻膠;

根據曲面基材內壁金屬微結構的排布的逆向光路投影的仿真結果制備光刻掩膜板;

將制備好的光刻掩膜板覆蓋在所述曲面基材涂有光刻膠的區域,然后進行光刻,獲得所需的金屬微結構,制成三維超材料。

2.根據權利要求1所述的三維超材料的制備方法,其特征在于,所述曲面基材為曲面陶瓷基材。

3.根據權利要求2所述的三維超材料的制備方法,其特征在于,所述曲面陶瓷基材內壁鍍銅的具體步驟為:

先在所述曲面陶瓷基材內壁進行化學鍍銅,然后再電鍍銅層。

4.根據權利要求1所述的三維超材料的制備方法,其特征在于,制備所述金屬微結構所用的金屬為銅、鋁、銀、鉑、鉬、鎢或銀鈀合金。

5.一種三維超材料,其特征在于,包括權利要求1~4任一項所述的方法制備的三維超材料。

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