[發(fā)明專利]晶粒剝離取放方法及其裝置

有效

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• 申請日: 2012-06-29
• 公開（公告）號(hào): CN103377974A
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石敦智;林語尚;周政德;王時(shí)洤
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州均華精密機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

1.一種晶粒剝離取放方法，其特征在于，步驟包含有：

提供一吸取處，該吸取處吸取一具有多個(gè)晶粒的膠膜；

將該膠膜與該多個(gè)晶粒相分離，該多個(gè)晶粒仍維持于該吸取處；

將該多個(gè)晶粒放置于一平臺(tái)；以及

由該平臺(tái)處取出該多個(gè)晶粒，并將該多個(gè)晶粒置放于一承載單元。

2.如權(quán)利要求1所述的晶粒剝離取放方法，其特征在于，進(jìn)一步具有一翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)用于翻轉(zhuǎn)該吸取處，以使該膠膜與該多個(gè)晶粒相分離，該多個(gè)晶粒仍維持于該吸取處。

3.如權(quán)利要求1所述的晶粒剝離取放方法，其特征在于，該吸取處為一吸盤。

4.如權(quán)利要求1所述的晶粒剝離取放方法，其特征在于，進(jìn)一步具有一放膜單元，該放膜單元是將該具有多個(gè)晶粒的膠膜放置于一膠膜收集區(qū)，該吸取處移動(dòng)至該膠膜收集區(qū)，以吸取該具有多個(gè)晶粒的膠膜。

5.如權(quán)利要求4所述的晶粒剝離取放方法，其特征在于，該放膜單元的下平板供該具有多個(gè)晶粒的膠膜所貼附，該放膜單元的上膜蓋壓制該下平板，以使該上膜蓋與該下平板之間形成一氣密空間，一氣體推力提供給該下平板，而使該多個(gè)晶粒的膠膜與該下平板相互分離，該上膜蓋吸取該具有多個(gè)晶粒的膠膜，并將該膠膜移至該膠膜收集處。

6.如權(quán)利要求1所述的晶粒剝離取放方法，其特征在于，該晶粒薄度小于等于3mil。

7.一種晶粒剝離取放裝置，其特征在于，包含有：

一能吸取具有多個(gè)晶粒的膠膜的吸盤；

一能撕離該膠膜的膠膜撕離模塊；

一能承接該吸盤的該多個(gè)晶粒的平臺(tái)；

一能取出該平臺(tái)的該多個(gè)晶粒的取放裝置；以及

一能承載來自該取放裝置的該多個(gè)晶粒的承載單元。

8.如權(quán)利要求7所述的晶粒剝離取放裝置，其特征在于，進(jìn)一步具有一能翻轉(zhuǎn)該吸盤的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。

9.如權(quán)利要求7所述的晶粒剝離取放裝置，其特征在于，該吸盤進(jìn)一步具有一能吸取該多個(gè)晶粒的真空部，并且該吸盤更具有一能將該膠膜的一端推離該吸盤的推離機(jī)構(gòu)。

10.如權(quán)利要求7所述的晶粒剝離取放裝置，其特征在于，該推離機(jī)構(gòu)為一推桿或一吹氣孔。

11.如權(quán)利要求7所述的晶粒剝離取放裝置，其特征在于，該膠膜撕離模塊具有一能夾取該膠膜的一端的夾持機(jī)構(gòu)，以及一能隔著該膠膜壓制該多個(gè)晶粒的壓制部，以及一與該壓制部對(duì)應(yīng)的介于該膠膜與該晶粒間并壓制該晶粒的壓制機(jī)構(gòu)。

12.如權(quán)利要求7所述的晶粒剝離取放裝置，其特征在于，該膠膜撕離模塊具有一能接收與該多個(gè)晶粒分離的該膠膜的收納器。

13.如權(quán)利要求7所述的晶粒剝離取放裝置，其特征在于，該平臺(tái)至少能夠軸向移動(dòng)。

14.如權(quán)利要求7所述的晶粒剝離取放裝置，其特征在于，該平臺(tái)能夠沿水平軸向旋轉(zhuǎn)。

15.如權(quán)利要求7所述的晶粒剝離取放裝置，其特征在于，該平臺(tái)為一具有真空吸附，以吸附多個(gè)晶粒的載臺(tái)。

16.如權(quán)利要求7所述的晶粒剝離取放裝置，其特征在于，該取放裝置具有一能對(duì)位于該平臺(tái)的晶粒定位的視覺元件。

17.如權(quán)利要求7所述的晶粒剝離取放裝置，其特征在于，該取放裝置進(jìn)一步具有一能于將該晶粒放置于該承載單元時(shí)，而對(duì)該承載單元定位的視覺元件。

18.如權(quán)利要求7所述的晶粒剝離取放裝置，其特征在于，該取放裝置具有至少一取放該多個(gè)晶粒的取放頭。

19.如權(quán)利要求7所述的晶粒剝離取放裝置，其特征在于，該承載單元為一載具或一載板，該承載單元具有一能使該承載單元進(jìn)行至少一軸向移動(dòng)的移載機(jī)構(gòu)。

20.如權(quán)利要求7所述的晶粒剝離取放裝置，其特征在于，進(jìn)一步具有一放模單元，該放模單元具有一能黏附該多個(gè)晶粒的膠膜的下平板，以及能夠選擇性壓制該下平板，并能吸取該膠膜的上膜蓋。

21.如權(quán)利要求20所述的晶粒剝離取放裝置，其特征在于，該下平板具有一能提供一氣體推力，以使該膠膜與該下平板相分離的吹氣裝置。