[發明專利]等離子體反應室及具有其的等離子體裝置有效
| 申請號： | 201210220530.8 | 申請日： | 2012-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN103515179A | 公開（公告）日： | 2014-01-15 |
| 發明（設計）人： | 武小娟 | 申請（專利權）人： | 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100176 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子體 反應 具有 裝置 | ||
1.一種等離子體反應室，其特征在于，包括：
腔體，所述腔體內具有腔室；
靜電卡盤，所述靜電卡盤設在所述腔體內用于承載襯底；
加熱器，所述加熱器設在所述腔體上用于加熱所述腔體；和
介質窗，所述介質窗設在所述腔體的上端用于封閉所述腔室的頂部開口，所述介質窗內設有加熱流體通道。
2.根據權利要求1所述的等離子體反應室，其特征在于，所述加熱流體通道均勻地分布在所述介質窗內。
3.根據權利要求1所述的等離子體反應室，其特征在于，所述加熱流體通道為渦旋狀。
4.根據權利要求1所述的等離子體反應室，其特征在于，所述加熱流體通道形成為以所述介質窗的中心為圓心的多個同心環形狀。
5.根據權利要求4所述的等離子體反應室，其特征在于，相鄰的所述同心環之間的間距相等。
6.根據權利要求1所述的等離子體反應室，其特征在于，所述加熱流體通道的進口和出口設在所述介質窗的上表面或側壁上。
7.根據權利要求1所述的等離子體反應室，其特征在于，所述加熱流體通道的進口處連接有進液管且所述加熱流體通道的出口處連接有出液管。
8.根據權利要求1-7中任一項所述的等離子體反應室，其特征在于，在所述介質窗上方設有紅外測溫裝置。
9.根據權利要求1所述的等離子體反應室，其特征在于，所述介質窗為石英窗。
10.一種等離子體裝置，其特征在于，包括如權利要求1-9中任一項所述的等離子體反應室。
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