[發明專利]介質材料二次電子發射系數測量系統及測量方法

有效

• 申請號: 201210219891.0
• 申請日: 2012-06-29
• 公開（公告）號: CN102706914A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 黃建國;易忠;劉業楠;孟立飛;張超;王志浩;唐小金;徐焱林;陳金剛;鄧佳欣
• 申請（專利權）人: 北京衛星環境工程研究所
• 主分類號: G01N23/22
• 分類號: G01N23/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種介質材料二次電子發射系數的測量系統，包括法拉第杯、脈沖電子槍，其中法拉第杯上設置有電子入射口，法拉第杯外的脈沖電子槍產生不同能量的入射電子并穿過所述電子入射口入射到筒內的待測量介質材料樣品上，待測量介質材料樣品背電極和地線之間電連接有自動調壓電路以對樣品表面電位進行實時補償，使得樣品表面電位相對于電子槍之間的電位差保持恒定，該調壓電路的調壓幅度由反饋控制電路實時控制，反饋控制信號通過采集樣品背電極的接地電流信號，再根據充電電位與電流的關系通過積分電路得到一個調壓控制信號，對調壓幅度進行實時控制，從而保證樣品的充電電位得到實時補償，樣品與自動調壓電路的調壓電源之間連接有電流探頭以測量樣品的凈收集電流，法拉第杯也電連接有電流探頭以測量法拉第杯的二次電子電流。

2.如權利要求1所述的測量系統，其中，待測量介質材料樣品通過背面金屬電極與調壓電路電連接。

3.如權利要求2所述的測量系統，其中，上述金屬電極優選為銀電極或銅電極。

4.如權利要求1-3任一項所述的測量系統，其中，兩探頭分別串聯有示波器，以存儲和讀取電流探頭數據。

5.如權利要求1-3任一項所述的測量系統，其中，電子束的脈寬小于1ms。

6.一種利用權利要求1-5任一項所述的測量系統測量介質材料二次電子發射系數的方法，包括以下步驟：

a.開啟脈沖電子槍，產生的電子束輻照樣品即產生二次電子；

b.通過所述樣品背面電極電連接的電流探頭測量得到感應電流，該感應電流即入射電子電流I_o與二次電子電流I_se之差I₁＝I₀-I_se；

c.在正偏壓下的法拉第杯2將樣品發射的二次電子全部收集，并通過與其連接的電流探頭測量得到二次電子電流I₂＝I_se；

d.通過I₁/(I₁+I₂)計算得到二次電子發射系數。

7.如權利要求6所述的方法，其中，所述電子束的脈寬小于1ms。