[發明專利]一種發光二極管的制造方法

無效

• 申請號: 201210219051.4
• 申請日: 2012-06-28
• 公開（公告）號: CN103515489A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 楊杰
• 申請（專利權）人: 上海藍光科技有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L33/22;B23K26/362
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 李儀萍

1.一種發光二極管的制造方法，其特征在于，所述制造方法至少包括步驟：

1）提供一藍寶石襯底，于所述藍寶石襯底上表面形成至少包括N-GaN層、量子阱層、P-GaN層及透明導電層的發光外延層；

2）于所述發光外延層定義出多個發光外延陣列，刻蝕各該發光外延陣列的透明導電層、P-GaN層及量子阱層直至露出所述N-GaN層，形成N電極制備區域；

3）于各該發光外延陣列的透明導電層上制備P電極，并于各該N電極制備區域制備N電極；

4）對所述藍寶石襯底進行激光內切處理，形成至少兩層與各該發光外延陣列對應且距離所述藍寶石襯底上表面不同深度的內切圖案；

5）依據所述內切圖案進行裂片，以完成所述發光二極管的制造。

2.根據權利要求1所述的發光二極管的制造方法，其特征在于：所述步驟3）還包括對所述藍寶石進行減薄的步驟，減薄后藍寶石襯底的厚度為60~450um。

3.根據權利要求1所述的發光二極管的制造方法，其特征在于：步驟5）所述的激光內切處理為通過控制激光的波段、頻率、功率向所述藍寶石襯底發射激光脈沖，以使所述藍寶石襯底的內部結構產生應變或松弛，并保持其表面的平整。

4.根據權利要求3所述的發光二極管的制造方法，其特征在于：步驟5）中采用皮秒激光器對所述藍寶石襯底進行激光內切處理。

5.根據權利要求4所述的發光二極管的制造方法，其特征在于：所述激光內切處理采用的激光波段為1064nm，激光頻率為50~100KHz，激光功率為0.05~10W。

6.根據權利要求1所述的發光二極管的制造方法，其特征在于：步驟5）中的各該內切圖案垂向重疊。

7.根據權利要求1所述的發光二極管的制造方法，其特征在于：各層內切圖案之間的距離相等。

8.根據權利要求1所述的發光二極管的制造方法，其特征在于：所述內切圖案的層數為兩層、三層或四層。

9.根據權利要求1所述的發光二極管的制造方法，其特征在于：所述步驟6）中，裂片后藍寶石襯底的斷裂面為粗糙的表面。