[發(fā)明專(zhuān)利]新型石墨舟

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210217096.8
• 申請(qǐng)日: 2012-06-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103510076A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈文偉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 沈文偉
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/458
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/458;C23C16/50
• 代理公司: 常州市夏成專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 32233
• 代理人: 沈兵

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種新型石墨舟。

背景技術(shù)

PECVD是等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)的簡(jiǎn)稱(chēng)，其原理是利用低溫等離子體作能量源，樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的反應(yīng)氣體，氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，在樣品表面形成固態(tài)薄膜。石墨舟是其中的重要部件，直接影響到電場(chǎng)的分布、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向、膜的品質(zhì)等。現(xiàn)有的石墨舟由于石墨舟片數(shù)量有限，而使得石墨舟的載片量受到限制，生產(chǎn)效率低下。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有的石墨舟載片少，生產(chǎn)效率低的不足，本發(fā)明提供了一種新型石墨舟。

本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：一種新型石墨舟，包括舟體、舟片、支腳、上電極和下電極，舟片設(shè)置在舟體內(nèi)，支腳安裝在舟體底部，上電極和下電極分別位于舟體的上部和下部，舟體截面呈半圓形。

根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例，進(jìn)一步包括舟片均勻分布在舟體內(nèi)腔，呈弧線(xiàn)形排布。

根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例，進(jìn)一步包括支腳連接在舟體底部?jī)蓚?cè)，呈外八字狀。

本發(fā)明的有益效果是，將舟體設(shè)計(jì)成截面呈半圓形的船體結(jié)構(gòu)，可大大適應(yīng)沉淀室的結(jié)構(gòu)，充分利用空間，擴(kuò)大舟體的容量，從而大大提高生產(chǎn)效率。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中1.?舟體，2.?舟片，3.?支腳，4.?上電極，5.?下電極。

具體實(shí)施方式

如圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖，一種新型石墨舟，包括舟體1、舟片2、支腳3、上電極4和下電極5，舟片2設(shè)置在舟體1內(nèi)，支腳3安裝在舟體1底部，上電極4和下電極5分別位于舟體1的上部和下部，舟體1截面呈半圓形。舟片2均勻分布在舟體1內(nèi)腔，呈弧線(xiàn)形排布。支腳3連接在舟體1底部?jī)蓚?cè)，呈外八字狀。

將舟體1設(shè)計(jì)成截面呈半圓形的船體結(jié)構(gòu)，可大大適應(yīng)沉淀室的結(jié)構(gòu)，充分利用空間，擴(kuò)大舟體1的容量，增加舟片2的數(shù)量，并可實(shí)現(xiàn)不同規(guī)格硅片的混合裝載，從而大大提高生產(chǎn)效率。