[發明專利]紫外線照射裝置

無效

• 申請號: 201210216149.4
• 申請日: 2012-06-27
• 公開（公告）號: CN102847691A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 片桐毅;廣井和則
• 申請（專利權）人: 株式會社杰士湯淺國際
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;H01L21/67
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 雒運樸

1.一種紫外線照射裝置，其特征在于，具備：

紫外線燈，其向工件照射紫外線；

殼體，其收容所述紫外線燈且具有與所述工件對置開口的開口部；

氣體供給機構，其向所述殼體內供給氣體，

在所述殼體的內表面或內部空間設有循環引導面，該循環引導面用于使由所述氣體供給機構供給的氣體在所述紫外線燈的周圍單向循環。

2.根據權利要求1所述的紫外線照射裝置，其特征在于，

沿著所述氣體供給機構的氣體供給方向的假想線與如下交點處的切線所成的角度為銳角，該交點是所述假想線和所述殼體的內表面或所述循環引導面的交點。

3.根據權利要求1或2所述的紫外線照射裝置，其特征在于，

所述氣體供給機構向與形成于所述殼體內的氣體的循環方向相同的方向供給所述氣體。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的紫外線照射裝置，其特征在于，

所述循環引導面的與所述殼體的長度方向垂直的剖面為大體部分圓形狀、大體部分長圓形狀、大體部分橢圓形狀、角部呈圓弧狀的大體部分矩形狀中的一種形狀。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的紫外線照射裝置，其特征在于，

所述紫外線燈成為長圓筒形狀，

所述殼體成為收容所述紫外線燈的長筒形狀，并且具有沿著所述紫外線燈的長度方向的開口部。

6.根據權利要求5所述的紫外線照射裝置，其特征在于，

所述氣體供給機構在所述殼體的大致整個長度方向上朝向所述殼體內供給氣體。

7.根據權利要求1～5中任一項所述的紫外線照射裝置，其特征在于，

所述氣體供給機構具有：第一供給部，其在所述殼體的上部朝向與形成于所述殼體內的氣體的循環方向相同的方向供給氣體；第二供給部，其在所述殼體的開口部朝向與由所述第一供給部供給的氣體的循環方向相同的方向供給氣體。

8.根據權利要求1～7中任一項所述的紫外線照射裝置，其特征在于，

由所述氣體供給機構供給的氣體的循環方向為沿著所述工件的輸送方向的方向。

9.根據權利要求1～8中任一項所述的紫外線照射裝置，其特征在于，

所述殼體的開口部以不遮擋所述紫外線燈的紫外線照射范圍的方式形成，所述紫外線照射裝置具有罩部，該罩部從所述開口部向所述工件側延伸設置且以不遮擋所述紫外線燈的紫外線照射范圍的方式覆蓋所述工件。

10.根據權利要求1～9中任一項所述的紫外線照射裝置，其特征在于，

所述氣體為惰性氣體或工藝過程氣體。