[發明專利]一種凹面衍射光柵衍射波前的檢測方法

無效

• 申請號: 201210214082.0
• 申請日: 2012-06-26
• 公開（公告）號: CN102706542A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 錢林勇;黃元申;徐邦聯;王琦;張大偉;陶春先;倪爭技;莊松林
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 上海東創專利代理事務所(普通合伙) 31245
• 代理人: 寧芝華

1.一種凹面衍射光柵衍射波前的檢測方法，包括建立凹面衍射光柵衍射波前檢測系統:將標準凸透鏡安裝在ZYGO干涉儀上，ZYGO干涉儀內置激光器，凹面衍射光柵放置在旋轉平臺上；標準凸透鏡與旋轉平臺之間鋪設導軌，旋轉平臺置于導軌之上；凹球面反射鏡置于凹面衍射光柵衍射光反射光路上；其特征在于按照以下步驟進行：

A)將標準凸透鏡主光軸與凹面衍射光柵中心放在同一條直線上，凹面衍射光柵放置在標準凸透鏡焦點后方并使凹面衍射光柵入縫與標準凸透鏡焦點重合；

B)凹球面反射鏡主光軸與凹面衍射光柵中心在一條直線上并使凹球面反射鏡的曲率中心與衍射光的匯聚點重合，匯聚點位于凹球面反射鏡的主光軸與凹面衍射光柵中心所在的同一條直線上；凹球面反射鏡用于反射衍射光；

C)衍射光作為測量波面沿原路返回ZYGO干涉儀，在干涉儀中與參考波前發生干涉；

D)干涉結果經計算機軟件處理后得到凹面衍射光柵衍射波前檢測結果；

E)改變凹面衍射光柵入射光的入射角，可以得到同一凹面衍射光柵在不同入射角情況下同一級次的衍射波前的變化。

2.根據權利要求1所述的凹面衍射光柵衍射波前的檢測方法，其特征在于：所述導軌與標準凸透鏡主光軸平行，旋轉平臺可沿導軌移動。

3.根據權利要求1所述的凹面衍射光柵衍射波前的檢測方法，其特征在于：所述ZYGO干涉儀隔離1-20Hz的震動，溫度15°C-30°C。