[發(fā)明專利]可替換齒部的齒輪結(jié)構(gòu)及應(yīng)用該齒輪結(jié)構(gòu)的薄膜沉積系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210213404.X
• 申請日: 2012-06-25
• 公開（公告）號: CN103511587A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉念慈;呂承豐
• 申請（專利權(quán)）人: 綠種子材料科技股份有限公司
• 主分類號: F16H55/17
• 分類號: F16H55/17;C23C14/56;C23C16/54
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;常大軍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種齒輪結(jié)構(gòu)，特別涉及一種可替換齒部的齒輪結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

齒輪是機械結(jié)構(gòu)中經(jīng)常使用的零件，齒輪可通過齒部帶動其它的齒狀機械元件，并具有改變轉(zhuǎn)速、扭矩及運動方向等功能。此外由于齒輪還具有傳動效率高及傳動比準確等優(yōu)點，使得齒輪被廣泛的應(yīng)用在工業(yè)產(chǎn)品上，而齒輪的設(shè)計與制造將會直接影響到工業(yè)產(chǎn)品的品質(zhì)。

請參閱圖1，為現(xiàn)有行星齒輪裝置的前側(cè)示圖?，F(xiàn)有的行星齒輪裝置10包括有一輸入軸11、一中央齒輪13、多個行星齒輪15及一齒輪架17。中央齒輪13、行星齒輪15及齒輪架17分別包括有多個齒部131、齒部151及齒部171，其中行星齒輪15環(huán)設(shè)于中央齒輪13的周圍，且行星齒輪15的齒部151分別與中央齒輪13的齒部131及齒輪架17的齒部171相互嚙合。

當連接中央齒輪13的輸入軸11轉(zhuǎn)動時，將會驅(qū)動中央齒輪13轉(zhuǎn)動，而中央齒輪13的齒部131則將力傳送至行星齒輪15的齒部151，并驅(qū)動行星齒輪15轉(zhuǎn)動，其中行星齒輪15在自轉(zhuǎn)的同時也會環(huán)繞中央齒輪13公轉(zhuǎn)。

齒輪主要是通過齒部帶動相鄰的齒輪或構(gòu)件，例如中央齒輪13通過齒部131將力傳遞至行星齒輪15的齒部151，以使得行星齒輪15轉(zhuǎn)動。在經(jīng)過一段時間的使用后，往往會造成齒輪13/15上部分的齒部131/151損壞，導致齒輪13/15無法繼續(xù)使用。此時便需要進行整個齒輪13/15的更換，并造成使用及維修成本的增加。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一目的，在于提供一種可替換齒部的齒輪結(jié)構(gòu)，其中齒部設(shè)置于齒輪結(jié)構(gòu)的主體部的外緣，并可相對于主體部進行拆卸或組合。當齒輪結(jié)構(gòu)上部分的齒部損壞時，可直接更換損壞的齒部，以省去更換整個齒輪所花費的成本。

本發(fā)明的又一目的，在于提供一種應(yīng)用上述齒輪結(jié)構(gòu)的薄膜沉積系統(tǒng)。薄膜沉積系統(tǒng)的中央齒輪及/或行星齒輪為可替換齒部的齒輪結(jié)構(gòu)，當中央齒輪及/或行星齒輪的齒部損壞時，僅需要更換損壞的齒部，并可降低薄膜沉積系統(tǒng)的使用及維修成本。

為達上述目的，本發(fā)明提供一種可替換齒部的齒輪結(jié)構(gòu)，包括：一主體部，包括多個連接座，連接座位于主體部的外緣；及多個齒部，包括一連接端，通過連接端耦合至連接座，每一齒部可固定于主體部上或可相對于主體部進行拆卸。

本發(fā)明還提供一種薄膜沉積系統(tǒng)，包括：一載盤，可繞一第一軸旋轉(zhuǎn)；一中央齒輪，其中心位于第一軸上；及多個行星齒輪，以供放置至少一被沉積物，位于載盤上并圍繞中央齒輪，并與中央齒輪相互嚙合，使得每一行星齒輪可繞一第二軸旋轉(zhuǎn)，且第一軸不同于該第二軸。其中，中央齒輪及/或行星齒輪包括一主體部及多個齒部，且主體部的外緣設(shè)置多個連接座，每一齒部包括有一連接端，通過連接端耦合至連接座，每一齒部可固定于主體部上或可相對于主體部進行拆卸。

以下結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明進行詳細描述，但不作為對本發(fā)明的限定。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有行星齒輪裝置的前側(cè)示圖；

圖2為本發(fā)明第一實施例的可替換齒部的齒輪結(jié)構(gòu)的剖視示意圖；

圖3為本發(fā)明第二實施例的可替換齒部的齒輪結(jié)構(gòu)的剖視示意圖；

圖4為本發(fā)明第三實施例的可替換齒部的齒輪結(jié)構(gòu)的分解示意圖；

圖5為本發(fā)明第四實施例的可替換齒部的齒輪結(jié)構(gòu)的分解示意圖；

圖6為本發(fā)明第五實施例的可替換齒部的齒輪結(jié)構(gòu)的立體示意圖；

圖7為本發(fā)明第六實施例的可替換齒部的齒輪結(jié)構(gòu)的分解示意圖；

圖8為本發(fā)明應(yīng)用齒輪結(jié)構(gòu)的薄膜沉積系統(tǒng)一實施例的分解示意圖；

圖9為本發(fā)明薄膜沉積系統(tǒng)的部分構(gòu)件的剖視圖；

圖10為本發(fā)明應(yīng)用齒輪結(jié)構(gòu)的薄膜沉積系統(tǒng)又一實施例的分解示意圖。

雖然已通過舉例方式在附圖中描述了本發(fā)明的具體實施方式，并在本文中對其作了詳細的說明，但是本發(fā)明還允許有各種修改和替換形式。本發(fā)明的附圖內(nèi)容可為不等比例，附圖及其詳細的描述僅為特定型式的揭露，并不為本發(fā)明的限制，相反的，依據(jù)專利范圍的精神和范圍內(nèi)進行修改、均等構(gòu)件及其置換均為本發(fā)明所涵蓋的范圍。

其中，附圖標記

10行星齒輪裝置????????11輸入軸

13中央齒輪????????????131齒部

15行星齒輪????????????151齒部

17齒輪架??????????????171齒部

20齒輪結(jié)構(gòu)????????????21主體部

211連接座?????????????213第一卡合部