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[發明專利]平板型高場非對稱波形離子遷移譜儀的聚焦裝置及方法有效

專利信息
申請號: 201210211272.7 申請日: 2012-06-20
公開(公告)號: CN102723254A 公開(公告)日: 2012-10-10
發明(設計)人: 唐飛;徐初隆;王曉浩 申請(專利權)人: 清華大學
主分類號: H01J49/06 分類號: H01J49/06;H01J49/40
代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327 代理人: 邸更巖
地址: 100084 北京市海淀區1*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 平板 型高場非 對稱 波形 離子 遷移 聚焦 裝置 方法
【權利要求書】:

1.一種平板型高場非對稱波形離子遷移譜儀的聚焦裝置,所述的平板型高場非對稱波形離子遷移譜儀包括離子源(2)、遷移區(3)和檢測單元(8);在遷移區(3)內平行放置上基片(4)和下基片(5),在上基片(4)和下基片(5)上分別設置上遷移區電極(6)和下遷移區電極(7),上遷移區電極(6)分別與非對稱波形射頻電源(10)和直流掃描補償電源(9)相連,其特征在于:在遷移區(3)前端設置至少一個聚焦區(11),在每個聚焦區(11)的上基片(4)和下基片(5)上設置至少一副聚焦極板對,并上下正對。

2.采用如權利要求1所述聚焦裝置的一種平板型高場非對稱波形離子遷移譜儀聚焦方法,其特征在于:在每副聚焦極板對上施加電壓,使離子在進入遷移區之前向中心聚集,施加的電壓有兩種模式:

a.直流聚焦模式:直流聚焦模式為在聚焦極板對上間隔施加相同的直流電壓,與施加直流電壓的聚焦極板對相鄰的聚焦極板對不施加電壓;施加的直流電壓根據離子極性選擇極性,若為正離子施加正電壓,若為負離子施加負電壓;

b.射頻聚焦模式:射頻聚焦模式為在每副聚焦極板對上施加正弦波射頻電壓,相鄰聚焦極板對射頻電壓相位相差180°。

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