[發明專利]一種微懸臂梁探針二階共振激發裝置

無效

• 申請號: 201210208242.0
• 申請日: 2012-06-21
• 公開（公告）號: CN102706924A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 劉鐸;馮兆斌
• 申請（專利權）人: 山東大學
• 主分類號: G01N27/00
• 分類號: G01N27/00;G01H9/00
• 代理公司: 濟南金迪知識產權代理有限公司 37219
• 代理人: 王緒銀

1.一種微懸臂梁探針二階共振激發裝置，其特征在于，裝置包括一個由導電材料構成的微懸臂梁底座，一個與微懸臂梁底座一體的、同材料的微懸臂梁探針，一個與微懸臂梁底座平行放置的共面電極；所述的共面電極由一對在同一平面上的、由相同材料構成的子電極組成。

2.如權利要求1所述的一種微懸臂梁探針二階共振激發裝置，其特征在于，所述的微懸臂梁探針的尺寸是：長度為100－500微米，寬度為10－50微米，厚度為1－2微米。

3.如權利要求1所述的一種微懸臂梁探針二階共振激發裝置，其特征在于，所述的微懸臂梁底座和共面電極之間的距離為100-1000微米。

4.如權利要求1所述的一種微懸臂梁探針二階共振激發裝置，其特征在于，所述的共面電極的兩個子電極之間的距離為100－1000微米。

5.一種微懸臂梁探針二階共振激發方法，其特征在于，共振激發方法如下：

在微懸臂梁底座上施加頻率等同于微懸臂梁探針二階共振頻率的正弦電信號，同時在共面電極的兩個子電極上分別施加正、負直流偏壓，在正弦電信號和正、負直流偏壓的共同作用下，形成兩個子電極對微懸臂梁探針的周期性電場力，兩個電場力周期相同、相位相反；兩個周期性電場力在微懸臂梁探針上形成周期性扭力，從而實現微懸臂梁探針二階共振的有效激發。