[發(fā)明專利]利用飛秒激光增強化學刻蝕制備大規(guī)模微透鏡陣列的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210207759.8
• 申請日: 2012-06-21
• 公開（公告）號: CN102785025A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發(fā)明（設計）人: 陳烽;楊青;胡洋;王先華;瞿譜波;劉賀煒;司金海;侯洵
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;G02B3/00
• 代理公司: 西安智大知識產(chǎn)權代理事務所 61215
• 代理人: 弋才富

1.利用飛秒激光增強化學刻蝕制備大規(guī)模微透鏡陣列的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一、選取作為飛秒激光作用靶材的硬質(zhì)材料，依次放入丙酮、乙醇、去離子水三種溶液中徹底清潔，再將靶材置于飛秒激光微納加工裝置上，選用脈沖寬度為30到150fs、波長為325到1200nm的超短脈沖激光，經(jīng)數(shù)值孔徑值為0.3至0.9的物鏡聚焦在硬質(zhì)材料表面；

步驟二、根據(jù)所需要加工的微透鏡陣列形狀，控制精密加工平臺移動靶材的速率，飛秒激光在靶材表面作用100至1000個脈沖數(shù)，脈沖頻率為1KHz，由于飛秒激光特殊的加工特性，在靶材上以飛秒激光作用焦點為中心產(chǎn)生一個光破壞區(qū)；

步驟三、利用體積濃度為1％至10％的氫氟酸溶液對飛秒激光加工后的靶材進行化學腐蝕，腐蝕時間為60-90分鐘，并且用超聲波水浴加熱輔助，加熱溫度為30~80攝氏度，加熱時間為40~80分鐘；

步驟四、將腐蝕之后的靶材在去離子水中徹底清洗干凈，即為一塊大規(guī)模微透鏡陣列的模板成品。

2.根據(jù)權利要求1所述的利用飛秒激光增強化學刻蝕制備大規(guī)模微透鏡陣列的方法，其特征在于，所述的作為靶材的硬質(zhì)材料為6面拋光的石英玻璃或K9玻璃。

3.根據(jù)權利要求1所述的利用飛秒激光增強化學刻蝕制備大規(guī)模微透鏡陣列的方法，其特征在于，所說的微透鏡陣列為矩形或正六邊形的凹形微透鏡陣列。