[發(fā)明專利]光學元件X、Y、θZ三自由度微動調(diào)整裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210206743.5
• 申請日: 2012-06-21
• 公開（公告）號: CN102707404A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙磊;鞏巖;彭海峰;于新峰
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;G03F7/20
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 南小平

1.光學元件X、Y、θ_Z三自由度微動調(diào)整裝置，該裝置為一體化結(jié)構(gòu)，包括鏡框（2）、三個驅(qū)動器（3）和兩個電容傳感器（4）；其特征在于，所述三個驅(qū)動器（3）和兩個電容傳感器（4）分別固定在鏡框（2）上；

所述鏡框（2）為一體化結(jié)構(gòu)，由鏡框內(nèi)環(huán)（2-1）、鏡框外環(huán)（2-2）和三個運動支鏈（2-3）組成；所述每個運動支鏈（2-3）均由三個柔性鉸鏈（2-3-1）、第一連桿（2-3-2）和第二連桿（2-3-3）組成，所述運動支鏈（2-3）的外側(cè)與鏡框外環(huán)（2-2）相連，運動支鏈（2-3）的內(nèi)側(cè)與鏡框內(nèi)環(huán)（2-1）相連，三個運動支鏈（2-3）沿周向間隔120°均勻分布；

所述驅(qū)動器（3）安裝在鏡框外環(huán)（2-2）上，驅(qū)動器（3）的輸入位移作用在第一連桿（2-3-2）上，其方向垂直于第一連桿（2-3-2）的豎直側(cè)面；

兩個電容傳感器（4）均固定在鏡框外環(huán)（2-2）的內(nèi)側(cè)，并且兩個電容傳感器間的周向間隔為90°。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學元件X、Y、θ_Z三自由度微動調(diào)整裝置，其特征在于，所述電容傳感器（4）為單電極電容傳感器。