[發明專利]拋光板自轉和公轉的裝置及使用該裝置的拋光板操作方法

無效

• 申請號: 201210206029.6
• 申請日: 2012-06-18
• 公開（公告）號: CN102825516A
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發明（設計）人: 馬久鎬;樸炳奎;鄭昱;李大淵;宋在翊
• 申請（專利權）人: 株式會社LG化學
• 主分類號: B24B7/24
• 分類號: B24B7/24
• 代理公司: 北京北翔知識產權代理有限公司 11285
• 代理人: 潘飛;楊勇

相關申請的交叉引用

本申請要求根據35USC?119（a）享有2011年6月16日在韓國提交的韓國專利申請No.10-2011-0058532的優先權，該申請的全部內容通過引用方式納入本文。

技術領域

本發明涉及一種用于使拋光板自轉（rotation）和公轉（revolution）的裝置以及一種使用該裝置的拋光板操作方法，更具體地，涉及一種用于使拋光板自轉和公轉的裝置以及一種使用該裝置的拋光板操作方法，所述裝置和方法可通過允許拋光板自轉和公轉來提高玻璃基板的拋光率。

背景技術

通常，非常重要的是使應用于液晶顯示器的玻璃基板保持其平面度（flatness）在某一水平，從而準確地呈現圖像。因此，存在于玻璃基板的表面的細微的不均勻或起伏應通過拋光工藝去除。

玻璃基板的拋光工藝可分為將單獨的玻璃基板逐個拋光的所謂“操作順序控制陣列（Oscar）”法和連續拋光一系列玻璃基板的所謂“排隊（inline）”法。拋光工藝還可分為僅對玻璃基板的一個表面拋光的“單面拋光”和對玻璃基板的兩個表面都拋光的“雙面拋光”。

參照圖1，其示意性示出一個常規的玻璃基板拋光設備，在玻璃基板G通過托架4保持在下部板2上的狀態中，拋光設備10將一個上部板（或拋光板）8——其中拋光墊6安裝至該上部板（拋光板）——帶至與所述玻璃基板G接觸，并同時在轉動所述拋光板8時在拋光板8和玻璃基板G之間供應拋光液，由此研磨所述玻璃基板G。對于此，通過使用形成在拋光板8中的多個狹縫8a以及安裝在拋光板8上方的與所述拋光板8間隔開的一個位置處的軟管3，拋光設備10借助自由降落供應拋光液體。

拋光板8借助從一個軸7傳送的轉動力轉動。然而，由于僅拋光板8轉動，在提高玻璃基板G的拋光率方面存在限制。

發明內容

本發明設計用于解決現有技術的問題，因此本發明的一個目的是提供一種能夠允許拋光板（或軸）自轉和公轉的裝置，以及使用該裝置的拋光板操作方法。

本發明的另一目的是提供一種能夠提高玻璃基板的拋光率的裝置以及使用該裝置的拋光板操作方法。

一方面，本發明提供了一種用于使拋光板自轉和公轉的裝置，包括：一個圓柱體構件（20），具有沿長度方向形成的一個中空部以及具有形成在外周緣的一個外周緣齒輪（26）；一個軸（50），沿長度方向安裝在所述中空部中并且由所述圓柱體構件（20）支承以能夠在偏離所述圓柱體構件（20）的中心的位置自轉，一個軸齒輪（51）安裝至所述軸（50）的外周緣，所述軸（50）連接至一個拋光板；以及一個環齒輪（60），具有一個內部齒輪（61）和一個外部齒輪（62），所述內部齒輪（61）形成在該環齒輪的內周緣，所述外部齒輪（62）形成在該環齒輪的外周緣，所述內部齒輪（61）被安裝為與所述軸齒輪（51）嚙合。在將一個驅動力傳送至所述圓柱體構件（20）使得所述圓柱體構件（20）自轉的情況下，所述軸（50）借助于偏心性（eccentricity）在所述中空部內公轉，所述公轉是在所述軸齒輪（51）與所述內部齒輪（61）嚙合的狀態下進行的。

此時，在將一個驅動力傳送至所述外部齒輪（62）以使得所述環齒輪（60）自轉的情況下，所述軸齒輪（51）可自轉。

所述環齒輪（60）可通過使用來自一個自轉馬達傳送的驅動力自轉，所述圓柱體構件（20）可通過使用來自一個公轉馬達傳送的驅動力自轉。

另外，可在所述環齒輪（60）和所述自轉馬達之間安裝多個齒輪（71）、（72）、（73）、（74）和（75），以允許傳送所述自轉馬達的驅動力，從而調節齒輪減速比（reduction?rate）。

此外，在所述外周緣齒輪（26）和所述公轉馬達之間可安裝多個齒輪（22）、（23）和（24），以允許傳送所述公轉馬達的驅動力，從而調節齒輪減速比。

同時，在另一方面，本發明還提供了一種使用使拋光板自轉和公轉的裝置的拋光板操作方法，其中通過推動（force）連接至用于將玻璃基板拋光的拋光板的一個軸（50）自轉和公轉，使拋光板同時自轉和公轉。