[發(fā)明專利]電極框體以及具備該電極框體的帶電粒子束發(fā)生裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210205880.7
• 申請(qǐng)日: 2012-06-18
• 公開（公告）號(hào): CN103021772A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 井內(nèi)裕;谷井正博
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日新離子機(jī)器株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01J37/08
• 分類號(hào): H01J37/08;H01J27/02
• 代理公司: 北京信慧永光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290
• 代理人: 周善來;李雪春

1.一種電極框體，構(gòu)成帶電粒子束引出用的電極，其特征在于，所述電極框體具有使帶電粒子束通過的開口部，并且從一個(gè)方向觀察所述電極框體時(shí)，在所述電極框體的所述開口部周圍的至少一部分上形成有電極棒支承部，該電極棒支承部支承橫跨所述開口部配置的電極棒的兩端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極框體，其特征在于，所述電極棒支承部形成在所述電極框體的表面上，并從所述表面凹陷。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電極框體，其特征在于，所述電極棒支承部與所述開口部連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極框體，其特征在于，所述電極棒支承部形成于隔著所述開口部相對(duì)的位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極框體，其特征在于，所述電極棒支承部上方安裝有蓋體。

6.一種帶電粒子束發(fā)生裝置，其特征在于，具備由權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的電極框體構(gòu)成的引出用電極。