[發(fā)明專利]感應(yīng)耦合等離子體處理裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210201923.4
• 申請日: 2009-05-14
• 公開（公告）號: CN102724803A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 齊藤均;佐藤亮
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;C23C16/50;H01L21/00
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種感應(yīng)耦合等離子體處理裝置，其特征在于，包括：

收容被處理體并實施等離子體處理的處理室；

在所述處理室內(nèi)載置被處理體的載置臺；

高頻天線，其經(jīng)由電介質(zhì)部件配置在所述處理室的外部，所述高頻天線通過供給高頻電力在所述處理室內(nèi)形成感應(yīng)電場，至少同心狀地配置有內(nèi)側(cè)天線部、該內(nèi)側(cè)天線部的外側(cè)的中間天線部、和該中間天線部的外側(cè)的外側(cè)天線部而形成；和

阻抗調(diào)節(jié)單元，與包含所述內(nèi)側(cè)天線部的內(nèi)側(cè)天線電路、包含所述中間天線部的中間天線電路和包含所述外側(cè)天線部的外側(cè)天線電路中的至少一個連接而調(diào)節(jié)阻抗，由此對所述內(nèi)側(cè)天線部、所述中間天線部和所述外側(cè)天線部的電流值進行控制，

以所述外側(cè)天線部的纏繞數(shù)目比所述中間天線部的纏繞數(shù)目少，所述中間天線部的纏繞數(shù)目比所述內(nèi)側(cè)天線部的纏繞數(shù)目少的方式，分別構(gòu)成多根天線電纜渦旋狀地配置而成的多重天線。

2.如權(quán)利要求1所述的感應(yīng)耦合等離子體處理裝置，其特征在于：

以所述內(nèi)側(cè)天線部、所述中間天線部和所述外側(cè)天線部呈大致矩形形狀的方式配置天線電纜，所述內(nèi)側(cè)天線部、所述中間天線部和所述外側(cè)天線部中的至少一個，在大致矩形形狀的各邊的中央部，以纏繞數(shù)目比其他的部分的纏繞數(shù)目少的方式設(shè)定纏繞方法的形態(tài)。

3.如權(quán)利要求1所述的感應(yīng)耦合等離子體處理裝置，其特征在于：

所述阻抗調(diào)節(jié)單元具有可變電容器。

4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的感應(yīng)耦合等離子體處理裝置，其特征在于：

在所述外側(cè)天線部的更外側(cè)，以與外側(cè)天線部的纏繞數(shù)目相比纏繞數(shù)目朝向外側(cè)依次變少的方式設(shè)置有1個或者2個以上的天線部。