[發明專利]一種計量型高精度x射線顯微鏡掃描樣品臺

有效

• 申請號: 201210201001.3
• 申請日: 2012-06-18
• 公開（公告）號: CN102692422A
• 公開（公告）日: 2012-09-26
• 發明（設計）人: 須穎;董友
• 申請（專利權）人: 東營市三英精密工程研究中心
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種計量型高精度x射線顯微鏡掃描樣品臺，其特征在于，掃描轉臺(2)安裝在固定底座(1)上，掃描轉臺(2)提供被掃描樣品所需的旋轉掃描運動，掃描轉臺(2)上部固定安裝三維定位平臺(6)，固定底座(1)外側安裝傳感器安裝座(3)，傳感器安裝座(3)上分別安裝徑向跳動誤差測量傳感器(4)與軸向跳動誤差和擺動誤差測量傳感器組(5)，樣品架(8)固定于y方向平臺之上；軸向跳動誤差和擺動誤差測量傳感器組(5)包括兩個個傳感器，所述兩個傳感器沿固定底座(1)的對稱中心對稱分布；所述兩個傳感器輸出值的平均值即為測得的掃描轉臺(2)的軸向跳動誤差；所述兩個傳感器輸出值的差值即為掃描轉臺(2)的擺動誤差；徑向跳動誤差測量傳感器(4)用于測量出掃描過程中掃描轉臺(2)轉軸發生徑向跳動引起的徑向跳動誤差；根據所述軸向跳動誤差、所述擺動誤差、所述徑向跳動誤差，消除由誤差導致的圖像失真。

2.根據權利要求1所述的掃描樣品臺，其特征在于，所述三維定位平臺(6)包括三個可分別沿x、y、z方向自由移動的平臺；z方向平臺可沿固定安裝在掃描轉臺(2)上的導軌移動，x方向平臺可沿固定安裝在z向平臺上的導軌移動，y方向平臺可沿固定安裝在x向平臺上的導軌移動；通過調整三個平臺的位置，即可實現對樣品掃描位置三個方向的精確定位。

3.根據權利要求1或2所述的掃描樣品臺，其特征在于，三維定位平臺(6)采用橋式結構，y方向移動主要在掃描轉臺(2)的中空內移動，降低了掃描樣品臺的高度。