[發(fā)明專利]基片上料機(jī)械手、基片上料系統(tǒng)和PECVD設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210200997.6
• 申請(qǐng)日: 2012-06-18
• 公開（公告）號(hào): CN103510065A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44;B25J11/00;B25J19/02;B65G47/91
• 代理公司: 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 黃德海

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域，特別地涉及一種基片上料機(jī)械手、具有所述基片上料機(jī)械手的基片上料系統(tǒng)和PECVD設(shè)備。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)的太陽(yáng)能平板式PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）設(shè)備工作過程中，取片機(jī)械手從上料臺(tái)的料盒中不斷取出電池片。當(dāng)取片機(jī)械手伸入到料盒中時(shí)，如果裝載系統(tǒng)出現(xiàn)故障而停止工作，此時(shí)操作人員在不熟悉整個(gè)設(shè)備的情況下極有可能直接對(duì)上料臺(tái)進(jìn)行升降，從而導(dǎo)致取片機(jī)械手被料盒壓迫，進(jìn)而導(dǎo)致取片機(jī)械手前端的吸附件損壞，甚至?xí)沟萌∑瑱C(jī)械手的手臂彎曲并導(dǎo)致支架變形。因此造成了對(duì)取片機(jī)械手的損壞，增加了維修和替換成本，而且耽誤了工作進(jìn)度。

此外，在現(xiàn)有的PECVD設(shè)備中，通常控制上料臺(tái)的控制裝置設(shè)置成在上料臺(tái)發(fā)生故障時(shí)對(duì)該上料臺(tái)進(jìn)行鎖定，即現(xiàn)有的PECVD只能實(shí)現(xiàn)對(duì)上料臺(tái)的單鎖設(shè)計(jì)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。

為此，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提出一種基片上料機(jī)械手，所述基片上料機(jī)械手避免了損壞，降低了維修和替換成本且不耽誤工作進(jìn)度。

本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提出一種具有上述基片上料機(jī)械手的基片上料系統(tǒng)。

本發(fā)明的再一個(gè)目的在于提出一種具有上述基片上料系統(tǒng)的PECVD設(shè)備。

根據(jù)本發(fā)明第一方面實(shí)施例的基片上料機(jī)械手，包括：包括：支架；手臂，所述手臂可上下旋轉(zhuǎn)地連接在所述支架上；基片吸附件，所述基片吸附件設(shè)在所述手臂的一端上用于吸附基片；和旋轉(zhuǎn)檢測(cè)裝置，所述旋轉(zhuǎn)檢測(cè)裝置用于檢測(cè)所述手臂的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基片上料機(jī)械手，通過將手臂可旋轉(zhuǎn)地連接在支架上，使得當(dāng)基片上料機(jī)械手運(yùn)動(dòng)受制時(shí)可實(shí)現(xiàn)與上料臺(tái)的互鎖設(shè)計(jì)，及時(shí)避免了對(duì)手臂或基片吸附件的損壞，降低了維修和替換成本，并且不耽誤工作進(jìn)度，提高了工作效率。

另外，根據(jù)本發(fā)明的基片上料機(jī)械手還具有如下附加技術(shù)特征：

可選地，所述旋轉(zhuǎn)檢測(cè)裝置包括：用于測(cè)量所述手臂旋轉(zhuǎn)角度的傳感器。

可選地，所述手臂通過樞轉(zhuǎn)軸連接在所述支架上。

可選地，所述傳感器設(shè)在所述樞轉(zhuǎn)軸處。

可選地，所述基片吸附件為吸盤。

可選地，所述旋轉(zhuǎn)檢測(cè)裝置包括：彈性件，所述彈性件固定連接至所述手臂的另一端。

根據(jù)本發(fā)明第二方面實(shí)施例的基片上料系統(tǒng)，包括：料盒，所述料盒內(nèi)具有用于放置基片的腔室；可升降的上料臺(tái)；傳送帶，所述傳送帶將所述料盒傳送到所述上料臺(tái)上；根據(jù)本發(fā)明第一方面實(shí)施例所述的基片上料機(jī)械手，其中所述基片上料機(jī)械手伸入所述腔室中進(jìn)行取片；和第一控制單元，所述第一控制單元用于控制所述基片上料機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)；以及第二控制單元，所述第二控制單元用于控制所述上料臺(tái)的升降。

所述基片上料系統(tǒng)還包括升降驅(qū)動(dòng)裝置，所述升降驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)在所述上料臺(tái)底部且與所述第二控制單元電連接以驅(qū)動(dòng)所述上料臺(tái)的升降。

可選地，所述第二控制單元在所述旋轉(zhuǎn)檢測(cè)裝置檢測(cè)到所述手臂旋轉(zhuǎn)時(shí)停止所述上料臺(tái)的升降。

可選地，所述升降驅(qū)動(dòng)裝置為絲杠。由此，通過采用絲杠，從而整個(gè)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于安裝且成本低。

所述基片上料系統(tǒng)還包括托盤和上下夾持氣缸，所述上下夾持氣缸設(shè)在所述上料臺(tái)上用于定位所述料盒。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基片上料系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)合理且性能安全，從而極大地提高了工作效率。

根據(jù)本發(fā)明第三方面實(shí)施例的一種PECVD設(shè)備，包括根據(jù)本發(fā)明第二方面實(shí)施例所述的基片上料系統(tǒng)。

本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。

附圖說明

本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1（a）是根據(jù)本發(fā)明第一方面實(shí)施例的基片上料機(jī)械手的示意圖；

圖1（b）是根據(jù)本發(fā)明第一方面實(shí)施例的另一基片上料機(jī)械手的示意圖；

圖2是根據(jù)本發(fā)明第二方面實(shí)施例的基片上料系統(tǒng)的示意圖；

圖3是圖2中所示的基片上料系統(tǒng)的基片上料機(jī)械手運(yùn)動(dòng)受制時(shí)上料臺(tái)上升狀態(tài)的示意圖；

圖4是圖2中所示的基片上料系統(tǒng)的基片上料機(jī)械手運(yùn)動(dòng)受制時(shí)上料臺(tái)下降狀態(tài)的示意圖；和

圖5是基片上料機(jī)械手位于準(zhǔn)備位置時(shí)的示意圖。

具體實(shí)施方式