[發明專利]頂針裝置、下電極組件及其安裝和拆卸方法

有效

• 申請號: 201210200446.X
• 申請日: 2012-06-18
• 公開（公告）號: CN103515280A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 萬宇;李俊杰
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/683
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種頂針裝置，包括頂針和頂針底座，所述頂針固定在頂針底座上，其特征在于，所述頂針裝置還包括與所述頂針底座可拆卸連接的頂針保護裝置，并且所述頂針保護裝置被設置成當其連接到所述頂針底座上時其圍繞在所述頂針的周圍。

2.如權利要求1所述的頂針裝置，其特征在于，所述頂針保護裝置為管狀結構且其內徑大于所述頂針的直徑，其外徑小于所述與所述頂針裝置配合使用的靜電卡盤上的頂針孔的內徑。

3.如權利要1所述的頂針裝置，其特征在于，所述頂針保護裝置包括一個或多個保護件，當所述保護件連接到所述頂針底座上時，所述保護件在頂針底座表面上的正投影嵌在所述頂針和頂針孔之間的間隙中。

4.如權利要求1至3中任一項所述的頂針裝置，其特征在于，所述頂針保護裝置與所述頂針底座之間的連接方式包括螺紋連接方式或者插接方式。

5.如權利要求1至3中任一項所述的頂針裝置，其特征在于，在所述頂針保護裝置在連接到所述頂針底座時的高度大于或等于所述頂針的高度。

6.如權利要求1至3中任一項所述的頂針裝置，其特征在于，所述頂針保護裝置為金屬材質。

7.一種下電極組件，包括相互配合的靜電卡盤和頂針裝置，所述頂針裝置包括頂針和頂針底座，并且在所述靜電卡盤上設置有作為頂針穿越通道的頂針孔，其特征在于，所述頂針裝置是權利要求1-6任意一項所述的頂針裝置，并且所述的頂針裝置能夠從所述頂針孔中穿過。

8.一種下電極組件安裝方法，用于安裝權利要求7所述的下電極組件，其特征在于，該方法包括：

步驟101，固定頂針以及頂針保護裝置；

步驟102，將靜電卡盤安裝在靜電卡盤底座上；

步驟103，判斷頂針的位置是否合適，如果合適，繼續步驟104；如果不合適，從靜電卡盤底座上取下靜電卡盤，轉到步驟101；

步驟104，拆除頂針保護裝置。

9.如權利要求8所述的方法，其特征在于，所述步驟101具體包括：

將所述頂針保護裝置固定在所述頂針底座上，并利用頂針校具調整頂針底座的位置，然后將頂針底座固定在頂針升降裝置上；或者

利用頂針校具調整頂針底座的位置，然后將頂針底座固定在頂針升降裝置上，并將所述頂針保護裝置固定在所述頂針底座上。

10.一種下電極組件拆卸方法，用于拆卸權利要求7所述的下電極組件，其特征在于，該方法包括：

步驟201，將頂針保護裝置固定在頂針底座上；

步驟202，從靜電卡盤底座上拆卸靜電卡盤。