[發明專利]含有脂環族環氧基的固化性樹脂組合物、其制造方法及其固化物

無效

• 申請號: 201210195831.X
• 申請日: 2012-06-14
• 公開（公告）號: CN102827323A
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發明（設計）人: 寺西直史;中川泰伸;赤井泰之
• 申請（專利權）人: 株式會社大賽璐
• 主分類號: C08F220/32
• 分類號: C08F220/32;C08F220/06;C08F220/18;C08F2/06;G03F7/004;C09D133/14;C09J133/14
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 張永新

技術領域

本發明涉及一種含有脂環族環氧基的固化性樹脂組合物、其制造方法及其固化物，所述含有脂環族環氧基的固化性樹脂組合物被用作：用于形成設置在電子部件上的絕緣膜、保護膜等的材料中所使用的放射線敏感性樹脂，用于形成液晶顯示材料(液晶顯示用感光光阻、液晶顯示用隔壁（rib）形成材料、保護涂層、濾色片形成用彩色光阻劑、TFT絕緣膜等)的液晶抗蝕劑用材料、涂料、涂覆劑、粘接劑等，所述電子部件有：半導體工藝中的使用遠紫外線、電子束、離子束、X射線等活性光線的光刻及液晶顯示元件、集成電路元件、固體攝像元件等。

背景技術

作為液態光致抗蝕劑(下文有時簡稱為“抗蝕劑”)中所使用的溶劑，目前已知有各種溶劑，可考慮到抗蝕劑樹脂組合物的溶解性、涂布性、靈敏度、顯影性、所形成的圖案特性等，選擇使用適當的溶劑(溶媒)。作為上述溶解性、涂布性、抗蝕劑形成特性等各特性優異的溶劑，已知有例如乙二醇單乙醚乙酸酯，但由于被指出對人體的安全性存在問題，因此，已完全不被用作抗蝕劑的溶劑，作為取而代之的安全性高的溶劑，已主要使用丙二醇單甲醚乙酸酯等(專利文獻1~3等)。另外，作為安全性高的溶劑，除丙二醇單甲醚乙酸酯以外，也已知有乳酸乙酯及甲基正戊基酮等。

但是，對于被認為比乙二醇單乙醚乙酸酯安全性高的這些溶劑而言，存在抗蝕劑形成特性及樹脂溶解性等特性不充分的問題。例如，對于丙二醇單甲醚乙酸酯而言，存在如下問題：將抗蝕劑涂布在基板上并進行成膜時，溶劑的殘膜率(是指制膜后的膜中的溶劑殘存率)高、線寬均勻性、顯影時的抗蝕劑膜的密合性等降低。其原因可以列舉如下：丙二醇單甲醚乙酸酯本身為蒸發速度快的溶劑，將其用作抗蝕劑樹脂的溶劑時，僅在涂布表面進行蒸發，在表面形成所謂的被膜，因此，涂布面內部所包含的溶劑不易蒸發。另外，已知丙二醇單甲醚乙酸酯的樹脂溶解性、引發劑溶解性等比乙二醇單乙醚乙酸酯差。另外，特別是將包含在側鏈具備脂環族環氧基的共聚樹脂的固化性樹脂組合物長時間保存時，還存在組合物的經時穩定性低的問題。因此，正尋求一種安全性高，而且樹脂溶解性、引發劑溶解性、樹脂組合物的經時穩定性均優異的溶劑。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特公平3-1659號公報

專利文獻2：日本特公平4-56973號公報

專利文獻3：日本特公平4-49938號公報

發明內容

發明要解決的問題

因此，本發明的目的在于提供一種固化性樹脂組合物、該固化性樹脂組合物的制造方法以及將該固化性樹脂組合物固化而得到的固化物，所述固化性樹脂組合物含有在側鏈含有脂環族環氧基的共聚樹脂，安全性高、樹脂溶解性等優異，同時經時穩定性優異。

本發明的其它的目的還在于提供一種固化性樹脂組合物、該固化性樹脂組合物的制造方法以及將該固化性樹脂組合物固化而得到的固化物，所述固化性樹脂組合物可形成膜厚均勻且對基板的密合性及耐溶劑性優異的涂膜(抗蝕劑膜等)。

解決問題的方法

本發明人等為了解決上述問題進行了深入研究，結果發現：包含共聚樹脂和作為溶劑的二丙二醇二甲醚的固化性樹脂組合物可以解決上述問題，從而完成了本發明，所述共聚樹脂具有包含脂環族環氧基的結構單元、和包含堿可溶性基團的結構單元。

即，本發明提供一種固化性樹脂組合物，其包含共聚物和溶劑，所述共聚物含有(A)含有脂環族環氧基的聚合性不飽和化合物所對應的單體單元、以及(B)含有堿可溶性基團的單體單元，所述溶劑含有占全部溶劑中的30~100質量%的二丙二醇二甲醚。

(A)含有脂環族環氧基的聚合性不飽和化合物可以為選自：3,4-環氧環己基甲基(甲基)丙烯酸酯、3,4-環氧三環[5.2.1.0^2.6]癸烷-8-基(甲基)丙烯酸酯、3,4-環氧三環[5.2.1.0^2.6]癸烷-9-基(甲基)丙烯酸酯中的至少一種化合物。

所述共聚物還可以含有(C)不含環氧基的脂環族聚合性不飽和化合物所對應的單體單元。

另外，本發明提供上述固化性樹脂組合物的制造方法，其包含如下工序：(1)使用含有二丙二醇二甲醚的溶劑作為聚合溶劑來制造共聚物的工序；或(2)進行溶劑交換，將共聚物的溶劑交換成含有二丙二醇二甲醚的溶劑的工序。

進而，本發明還提供一種將所述固化性樹脂組合物固化而得到的固化物。

發明效果