[發(fā)明專利]微納米透鏡片輔助聚光光刻工藝制備有序微納米結(jié)構(gòu)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210195658.3
• 申請(qǐng)日: 2012-06-14
• 公開（公告）號(hào): CN102701143A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳奎;藍(lán)鼎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吳奎;藍(lán)鼎
• 主分類號(hào): B81C1/00
• 分類號(hào): B81C1/00;B81B7/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.微納米透鏡片輔助聚光光刻工藝制備有序微納米結(jié)構(gòu)，包括以下步驟：

步驟1)在一基底10上涂一層光刻膠11；

步驟2)在光刻膠11上，放置一個(gè)微納米透鏡片12；

步驟3)用光照13曝光；

步驟4)顯影之后在光刻膠11表面形成納米網(wǎng)孔；

步驟5)通過濕法或者干法將圖形轉(zhuǎn)移到基底10。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微納米透鏡片輔助聚光光刻工藝制備有序微納米結(jié)構(gòu)，其特征在于，步驟1中的基底10可以為石英、玻璃、藍(lán)寶石，硅、鍺等一元半導(dǎo)體，碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、碳化硅、磷化銦等III/V族，II/VI族二元、三元或四元半導(dǎo)體材料；氧化鋅、氧化鈦等氧化物半導(dǎo)體材料；可以是單層也可以是多層材料；還可以是OLED、LED、LD、太陽能電池、燃料電池雙極板等半導(dǎo)體光電器件的整體或一部分；帶有石墨烯、碳納米管、ITO、GZO、AZO等作為導(dǎo)電膜材料的器件表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微納米透鏡片輔助聚光光刻工藝制備有序微納米結(jié)構(gòu)，其特征在于，步驟2中光刻膠11是對(duì)200nm-800nm感光的正膠或者負(fù)膠。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微納米透鏡片輔助聚光光刻工藝制備有序微納米結(jié)構(gòu)，其特征在于，步驟2中微納米透鏡片12的制備工藝，現(xiàn)列舉以下兩種方法：

方法一：取一襯底50，在上面覆蓋一單層微納米球51，通過高溫退火形成半球或者凸面球，且和基地結(jié)合的牢固，構(gòu)成一個(gè)整體移動(dòng)透鏡片；

方法二：取一襯底50，在上面覆蓋一單層微納米球51，在間隙處填充膠60，構(gòu)成一個(gè)整體微納米透鏡片。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微納米透鏡片輔助聚光光刻工藝制備有序微納米結(jié)構(gòu)，其特征在于，可移動(dòng)微納米透鏡片制備舉例方法一中襯底50，其材料是雙拋光藍(lán)寶石、石英片、硅片、玻璃片、塑料、樹脂、硅膠等有機(jī)、無機(jī)材料，只要對(duì)所曝光波段基本完全透明的介質(zhì)材料即可；單層微納米球51，可以是聚苯乙烯球、二氧化硅球、PDMS球、氧化鋁球、氯化銫球等能通過自組裝技術(shù)排列的單層透明球，直徑為0.1-1um。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微納米透鏡片輔助聚光光刻工藝制備有序微納米結(jié)構(gòu)，其特征在于，可移動(dòng)微納米透鏡片12制備舉例方法二中，填充膠60是PDMS，PDMA，氧化硅凝膠，氧化鈦凝膠，常見光刻膠等其它有機(jī)和無機(jī)膠體，要求必須和單層微納米球51的折射率相近或相等，這樣填充之后，相當(dāng)于單層微納米球變成了單層微納米半球，構(gòu)成微納米透鏡片。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微納米透鏡片輔助聚光光刻工藝制備有序微納米結(jié)構(gòu)，其特征在于，微納米透鏡片12是可以反復(fù)利用的，便于工業(yè)化標(biāo)準(zhǔn)化、無差異生產(chǎn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微納米透鏡片輔助聚光光刻工藝制備有序微納米結(jié)構(gòu)，其特征在于，步驟4中，如果光刻膠11為正膠，光刻之后則形成的是光刻膠微納米網(wǎng)孔；如果是負(fù)膠，則光刻之后形成的是微納米柱陣列。當(dāng)然也可以移動(dòng)微納米透鏡片12形成更多圖樣，或者將光照13的入射方向傾斜一定角度曝光也能形成更多圖樣。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微納米透鏡片輔助聚光光刻工藝制備有序微納米結(jié)構(gòu)，其特征在于，步驟5中的圖形轉(zhuǎn)移過程，可以是干法或濕法刻蝕技術(shù)。