[發明專利]XY兩坐標氣浮定位平臺

有效

• 申請號: 201210194434.0
• 申請日: 2012-06-13
• 公開（公告）號: CN102723303A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發明（設計）人: 洪榮晶;鐘黔;方成剛
• 申請（專利權）人: 南京工業大學;南京工大數控科技有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 徐冬濤

1.一種XY兩坐標氣浮定位平臺，其特征是包括底座、X軸基座（2）、X軸導向導軌（3）、X軸直線電機定子（4）、Y軸基座（6）、Y軸直線電機定子（7）、Y軸導向導軌（8）、X軸滑臺（5）、Y軸滑臺（9）和工作平臺（10），底座上采用螺栓固定連接的方式安裝了X軸基座（2）和Y軸基座（6），X軸基座（2）上通過螺栓固定連接的方式安裝X軸導向導軌（3）和X軸直線電機定子（4），Y軸基座（6）上通過螺栓固定連接的方式安裝Y軸導向導軌（8）和Y軸直線電機定子（7），X軸滑臺（5）包括X軸電機動子（11）、X軸工作導軌（12）、中間平臺（13）和中間導軌（14），Y軸滑臺（9）包括Y軸直線電機動子（15）、Y軸工作導軌（16）、Y軸平臺（17）、驅動連桿（18）、第一氣浮滑塊（19）和第二氣浮滑塊（20），工作平臺（10）包括工作導軌（21）、第三氣浮滑塊（22）和第四氣浮滑塊（23），X軸直線電機定子（4）和Y軸直線電機定子（7）分別固定在X軸基座（2）和Y軸基座（6）上。

2.根據權利要求1所述的XY兩坐標氣浮定位平臺，其特征在于所述X軸滑臺（5）與工作平臺（10）之間沿著Y軸方向相對運動，Y軸滑臺（9）與工作平臺（10）之間沿著X軸方向相對運動。

3.根據權利要求1所述的XY兩坐標氣浮定位平臺，其特征在于所述X軸滑臺（5）與工作平臺（10），X軸滑臺（5）與X軸基座（2），Y軸滑臺（9）與工作平臺（10），Y軸滑臺（9）與Y軸基座（6）間均用氣浮導軌連接起來。

4.根據權利要求1所述的XY兩坐標氣浮定位平臺，其特征在于所述X軸直線電機動子（11）帶動X軸滑臺（9）沿X向運動，工作平臺（10）位于X軸滑臺（9）的上方，與其一起運動。

5.根據權利要求1所述的XY兩坐標氣浮定位平臺，其特征在于所述XY軸電機動子（15）帶動Y軸滑臺（9）沿Y向運動，通過驅動連桿（18），進而為工作平臺（10）提供Y向運動。

6.根據權利要求1所述的XY兩坐標氣浮定位平臺，其特征在于所述中間導軌（13），工作平臺（10），驅動連桿和第一氣浮滑塊（19）、第二氣浮滑塊（20）、第三氣浮滑塊（22）、第四氣浮滑塊（23）構成了廣義并聯機構。