[發(fā)明專(zhuān)利]硅基底多層線圈結(jié)構(gòu)的微型渦流傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210193701.2
• 申請(qǐng)日: 2012-06-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102721738A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-10-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐志祥;姜鳳娟;尹嘉鵬;孫浩
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 大連理工大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01N27/90
• 分類(lèi)號(hào): G01N27/90
• 代理公司: 大連理工大學(xué)專(zhuān)利中心 21200
• 代理人: 關(guān)慧貞

1.一種硅基底多層線圈結(jié)構(gòu)的微型渦流傳感器，其特征在于，采用硅片作為渦流傳感器的基底，包括單層激勵(lì)線圈、至少兩層的檢測(cè)線圈、導(dǎo)通層和絕緣層，每?jī)蓪訖z測(cè)線圈通過(guò)中間的一層導(dǎo)線柱導(dǎo)通，保證兩層檢測(cè)線圈螺旋方向相反；激勵(lì)線圈層與檢測(cè)線圈層之間具有單獨(dú)的SiO₂絕緣層；通過(guò)激勵(lì)線圈兩端的接線柱加載交變電源；檢測(cè)線圈的兩個(gè)接線柱穿過(guò)其上面每一層線圈空白區(qū)域與檢測(cè)電路引線相連。

2.如權(quán)利要求1所述的微型渦流傳感器，其特征在于，檢測(cè)線圈截面尺寸為10μm×10μm、20μm×15μm、30μm×15μm三種且每個(gè)線圈均為10匝，對(duì)應(yīng)激勵(lì)線圈截面尺寸為140μm×20μm、290μm×20μm、430μm×20μm且均為單匝，相同的螺旋形狀及尺寸呈矩陣式分布。

3.如權(quán)利要求1或2所述的微型渦流傳感器，其特征在于，硅片采用厚度為200μm的三寸硅片。

4.如權(quán)利要求1或2所述的微型渦流傳感器，其特征在于，電感線圈有方形平面螺旋和圓形平面螺旋兩種形式。