[發明專利]面向半導體制造設備的數據采集實現方法

無效

• 申請號: 201210193136.X
• 申請日: 2012-06-12
• 公開（公告）號: CN103491059A
• 公開（公告）日: 2014-01-01
• 發明（設計）人: 劉明哲;徐皚冬;葉家發;王亞楠
• 申請（專利權）人: 中國科學院沈陽自動化研究所
• 主分類號: H04L29/06
• 分類號: H04L29/06;H04L29/08
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富;周秀梅

技術領域

本發明屬于半導體設備通信技術，具體地說是一種面向半導體制造設備的數據采集實現方法。

背景技術

隨著半導體集成電路的生產制造向著300mm晶圓的生產方向發展，生產者對半導體制造設備的數據需求急劇增加，并且進一步要求設備支持一系列“設備工程能力”(Equipment?Engineering?Capabilities),如E-診斷，數據采集，配方管理，故障檢測和分類，Run-To-Run控制等上層應用。而實現這些應用最重要的因素也是獲取各種設備數據。因此，更多更高質量的數據是目前支持設備精確生產制造和優化工廠自動化生產所急切需要的。

目前半導體設備數據的采集主要是依靠SECS/GEM通信方法，但是隨著300mm晶圓加工成為主流，SECS/GEM通信方法不能滿足當前設備與用戶數據采集的需求。SECS/GEM通信缺乏安全通信機制，不能保證通信安全；只能支持一個用戶進行數據采集；只具備部分設備自我描述功能，獲取設備數據很少，且質量不高。

發明內容

針對半導體生產者對半導體制造設備中更多更高質量數據信息的迫切需求，本發明要解決的技術問題是提供一種全面、高效的面向半導體制造設備的數據采集實現方法。

為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是：面向半導體制造設備的數據采集實現方法，包括以下步驟：

1）在客戶端和半導體制造的設備端建立Web服務，并使用代理類實現客戶端與設備端的連接；

2）客戶端調用設備端的設備認證接口，客戶端與設備端通過使用安全套接層協議進行客戶安全認證，并創建SOAPHeader數據格式；

3）客戶端根據自身關注的設備的運行狀態信息，以SOAPHeader數據格式定義并發送數據采集計劃；

4）客戶端調用設備端提供的數據采集管理接口,根據數據采集計劃狀態機查詢并控制數據采集計劃；

5）客戶端激活數據采集計劃，使用委托代理方式處理數據采集事件；

6）設備端解析數據采集計劃，查詢內部數據庫中的設備運行狀態信息，編寫數據采集報告；

7）設備端根據采集間隔時間指令定時地調用客戶端的數據采集計劃客戶接口，將設備端的運行狀態信息以SOAPHeader數據格式發送到對應的客戶端。

所述在客戶端和設備端建立Web服務，并使用代理類實現客戶端與設備端的連接包括：

A1.當客戶端向對應的設備端發送指令請求消息時，通過調用設備端代理類來調用相應的設備端，并將SOAP格式化的XML消息發送給對應的設備端。

A2.當設備端向客戶端發送通知或數據報告時，通過調用客戶端的代理類來調用客戶端，發送數據消息。

所述使用安全套接層協議進行客戶安全認證包括以下步驟：

B1.客戶端給設備端發送一條單一的握手消息為ClientHello，包括該握手消息支持的算法列表和一個密鑰產生過程用作輸入的隨機數；

B2.設備端給客戶端發送一系列SSL握手消息，設備端發送的第一條消息為ServerHello，其中包括了它所選擇的算法，接著再在Certificate消息中發送其證書，以及CertificateRequest；最后，設備端發送ServerHelloDone消息以表示這一握手階段的完成。

B3.客戶端對設備端的證書進行驗證，并抽取設備端提供的公用密鑰；然后，產生一個主密鑰，并用設備端的公開密鑰加密后傳給設備端；接著發送CertificateVerity信息；最后發送Finished消息；

B4.設備端使用其私用密鑰對共享密鑰進行解密，獲取主密鑰，并返回給客戶端Equipment?ACK消息和Finished消息。

所述SOAPHeader數據格式的組成包括：會話識別碼Session?ID、服務設備識別碼Equipment?ID和客戶識別碼Client?ID。

所述使用委托代理方式處理數據采集事件包括以下步驟：

C1.聲明一個delegate對象，與設備端數據采集管理接口有相同的參數和返回值類型；

C2.創建delegate對象，并將設備端數據采集管理接口的函數名作為參數傳入；

C3.在要實現異步調用的地方，通過步驟C2創建的對象來調用設備端數據采集管理接口函數。

本發明具有以下有益效果及優點：