[發明專利]反射式共焦透鏡中心厚度測量方法有效
| 申請號： | 201210191601.6 | 申請日： | 2012-06-11 |
| 公開（公告）號： | CN102679895A | 公開（公告）日： | 2012-09-19 |
| 發明（設計）人： | 邱麗榮;楊佳苗;趙維謙;邵榮君;李佳;李雅燦 | 申請（專利權）人： | 北京理工大學 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06 |
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| 地址： | 100081 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 反射 式共焦 透鏡 中心 厚度 測量方法 | ||
1.反射式共焦透鏡中心厚度測量方法，其特征在于：
(a)打開點光源，其發出的光透過分光鏡、準直透鏡和被測透鏡后由平面反射鏡反射形成測量光束，測量光束照射在被測透鏡前表面或后表面，被測透鏡的前表面或后表面將測量光束反射，反射回來的光沿原光路返回，并由分光鏡反射進入共焦測量系統；
(b)調整被測透鏡，使其與準直透鏡共光軸，準直透鏡將點光源產生的光準直成平行光照射在被測透鏡上，調整平面反射鏡，使其與準直透鏡共光軸；
(c)沿光軸方向移動平面反射鏡，使測量光束的聚焦焦點與被測透鏡后表面接近，在該位置附近掃描平面反射鏡，由共焦測量系統測得共焦響應曲線，通過共焦響應曲線的最大值點來確定測量光束的焦點與被測透鏡后表面相重合，記錄此時平面反射鏡的位置z1；
(d)將平面反射鏡繼續沿光軸向被測透鏡方向移動，使測量光束的聚焦焦點與被測透鏡前表面接近，在該位置附近掃描平面反射鏡，由共焦測量系統測得共焦響應曲線，通過共焦響應曲線的最大值點來確定測量光束的焦點與被測透鏡前表面相重合，記錄此時平面反射鏡的位置z2；
(e)根據已知參數：測量光束的數值孔徑角α0、被測透鏡后表面的曲率半徑r2、空氣折射率n0、被測透鏡折射率n和兩次定位的平面反射鏡移動量l＝|z2-z1|，可由以下公式：
計算得到被測透鏡的中心厚度d。
2.根據權利要求1所述的反射式共焦透鏡中心厚度測量方法，其特征在于：利用環形光瞳遮擋近軸光線，形成空心的測量光錐，削減像差對測量結果的影響。
3.根據權利要求1或2所述的反射式共焦透鏡中心厚度測量方法，其特征在于：對點光源發出的光進行光強調制，由共焦測量系統中的光強傳感器探測得到受調制的共焦響應信號，將該調制信號解調后得到共焦響應曲線，從而提高系統的定焦靈敏度。?
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