[發明專利]風機過濾器機組控制方法及設備、晶圓加工方法

有效

• 申請號: 201210191256.6
• 申請日: 2012-06-11
• 公開（公告）號: CN102709217A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 傅榮顥;黃錦才
• 申請（專利權）人: 上海宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/66
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

1.一種風機過濾器機組控制方法，其特征在于包括：

在向晶圓盒載入晶圓之前，檢測風機過濾器機組中的風扇的工作狀態；

在風機過濾器機組中的風扇工作正常的情況下，向晶圓盒載入晶圓；

在風機過濾器機組中的風扇工作不正常的情況下，不向晶圓盒載入晶圓。

2.根據權利要求1所述的風機過濾器機組控制方法，其特征在于還包括：在風機過濾器機組中的風扇工作不正常的情況下，觸發中斷信號，以使得不能從晶圓盒卸載晶圓。

3.一種風機過濾器機組控制方法，其特征在于包括：

在從晶圓盒卸載晶圓之前，檢測風機過濾器機組中的風扇的工作狀態；

在風機過濾器機組中的風扇工作正常的情況下，從晶圓盒卸載晶圓；

在風機過濾器機組中的風扇工作不正常的情況下，不從晶圓盒卸載晶圓。

4.根據權利要求3所述的風機過濾器機組控制方法，其特征在于還包括：在風機過濾器機組中的風扇工作不正常的情況下，觸發中斷信號，以使得不能從晶圓盒卸載晶圓。

5.一種晶圓加工方法，其特征在于采用了根據權利要求1至4之一所述的風機過濾器機組控制方法。

6.一種風機過濾器機組控制設備，其特征在于包括：光耦和繼電器；其中，所述線圈兩端分別連接至風機過濾器機組的風扇的兩端；所述風扇的兩端施加了用于驅動所述風扇工作的驅動電壓；其中，在所述線圈中不存在電流的情況下，所述繼電器斷開；并且，在所述風扇工作正常從而所述線圈中存在電流的情況下，所述繼電器和光耦接通。

7.根據權利要求6所述的風機過濾器機組控制設備，其特征在于，在所述風機接通的情況下，所述繼電器和光耦輸出啟動信號。

8.根據權利要求7所述的風機過濾器機組控制設備，其特征在于，所述啟動信號用于啟動向晶圓盒載入晶圓的操作，或者啟動信號用于啟動從晶圓盒卸載晶圓的操作，或者啟動信號用于啟動向晶圓盒載入晶圓的操作以及從晶圓盒卸載晶圓的操作。

9.根據權利要求6至8之一所述的風機過濾器機組控制設備，其特征在于，所述驅動電壓等于24V。

10.一種風機過濾器機組控制設備，其特征在于包括：光耦和繼電器；其中，所述線圈兩端分別連接至風機過濾器機組的風扇的兩端；所述風扇的兩端施加了用于驅動所述風扇工作的驅動電壓；其中，在所述線圈中不存在電流的情況下，所述繼電器斷開，所述風機不存在電流情況下，所述光耦斷開；并且，在所述風扇工作正常從而所述線圈和光耦中存在電流的情況下，所述繼電器和光耦輸出端同時接通；

并且，所述風機過濾器機組控制設備還包括：二極管以及電阻；二極管的輸入端連接至風扇和線圈的公共連接端；光耦的發光器件輸入端也連接至風扇和線圈的所述公共連接端；電阻連接在二極管的輸出端和光耦的發光器件輸出端之間以限制光耦的輸入電流在額定電流內；光耦的感光器件輸出端連接至繼電器。

11.根據權利要求10所述的風機過濾器機組控制設備，其特征在于，在所述線圈接通且光耦的感光器件感測出電流的情況下，所述線圈和光耦同時輸出啟動信號；其中，如果只有線圈接通或者只有光耦導通，則不能輸出啟動信號。

12.根據權利要求11所述的風機過濾器機組控制設備，其特征在于，所述啟動信號用于啟動向晶圓盒載入晶圓的操作，或者啟動信號用于啟動從晶圓盒卸載晶圓的操作，或者啟動信號用于啟動向晶圓盒載入晶圓的操作以及從晶圓盒卸載晶圓的操作。