[發(fā)明專利]一種用于真空噴霧特性研究的鍍膜裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210191079.1
• 申請日: 2012-06-11
• 公開（公告）號: CN102692332A
• 公開（公告）日: 2012-09-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李建昌;李宏宇;劉必林;宮興;黎勛;梁啟煜
• 申請（專利權(quán)）人: 東北大學(xué)
• 主分類號: G01M99/00
• 分類號: G01M99/00;B05B5/03;B05B5/16;B05B15/00
• 代理公司: 沈陽東大專利代理有限公司 21109
• 代理人: 李運萍;范象瑞

1.一種用于真空噴霧特性研究的鍍膜裝置，包括臺架（25）、真空噴射室（14）、安裝在真空噴射室前端的霧化噴頭（6）、與霧化噴頭相接的液體輸送裝置和高壓氮氣輸送裝置、基片架裝置、加熱裝置和測試裝置；其特征在于：

所述真空噴射室（14）由石英玻璃管（32）構(gòu)成，通過噴射室固定架（7）置于所述臺架上，石英玻璃管前端通過金屬CF法蘭（61）和真空門法蘭（26）連接，后端通過金屬CF法蘭（61）和放氣閥CF法蘭（20）與抽氣裝置連接，抽氣裝置由角閥（22）、液氮冷阱（23）、旋片泵（24）和連接管道組成；真空門法蘭端蓋上安裝有高真空復(fù)合式真空規(guī)（27）、電極引線法蘭（29）、測試信號線法蘭（59）、高壓靜電線法蘭（60）和兩個VCR管件法蘭（28）；

所述霧化噴頭（6）有兩個，相鄰安裝在真空噴射室中軸線橫向兩側(cè)，分別由噴頭主體（39）和噴頭組成；其中噴頭主體采用雙流體金屬空氣霧化噴頭，噴頭為感應(yīng)充電氣力式靜電噴頭；該感應(yīng)充電氣力式靜電噴頭由噴嘴帽（40）、壓緊塊（43）、環(huán)形電極（41）和噴嘴（42）組成；壓緊塊和噴嘴由絕緣材料制成，通過噴嘴帽和密封圈（44）壓緊并固定在噴頭主體上，環(huán)形電極由黃銅制成，嵌入壓緊塊流道霧化區(qū)周圍，并用一微型插頭（45）通過高壓靜電線和真空門法蘭端蓋上的高壓靜電線法蘭與置于真空噴射室外部的高壓靜電發(fā)生器（11）相連；在兩個霧化噴頭的前面設(shè)有帶升降裝置的噴嘴擋板（48），噴嘴擋板由開有橫向槽孔的絕緣材料制成；

所述液體輸送裝置包括四個盛裝液體的容器（9）和兩個HPLC液相色譜泵（10）；四個盛裝液體的容器分為兩組，每組兩個，分別通過VCR管路（5）與兩個HPLC液相色譜泵連接，兩個HPLC液相色譜泵出口分別通過液體VCR管路（63）和真空門法蘭端蓋上的VCR管件法蘭與所述兩個霧化噴頭相接；

所述高壓氮氣輸送裝置包括高壓氮氣瓶（1），高壓氮氣瓶通過兩路氮氣VCR管路（62）依次連接變截面流量計（2）、隔膜閥（3）、壓力計（4）和真空門法蘭端蓋上的VCR管件法蘭與所述兩個霧化噴頭相接；

所述基片架裝置包括基片架（17），基片架通過基片架連接件與可沿內(nèi)導(dǎo)軌（38）往復(fù)移動的軸承座滑塊（19）連接，軸承座滑塊上部有矩形鐵片（58），內(nèi)導(dǎo)軌的兩端分別固定在由絕緣材料制成的圓環(huán)形內(nèi)導(dǎo)軌支架（33）上，內(nèi)導(dǎo)軌支架通過三個對稱分布的螺栓B(56)固定在石英玻璃管(32)內(nèi)壁的兩端；在石英玻璃管外部，有與軸承座滑塊相對應(yīng)、可沿外導(dǎo)軌（37）滑動的外置磁控裝置，該磁控裝置由電永磁鐵（18）和滑片（51）組成，外導(dǎo)軌兩端固定安裝在噴射室固定架（7）上；在軸承座滑塊的一側(cè)安裝有標尺（55），在標尺對應(yīng)的石英玻璃管外壁上有刻度尺；

所述加熱裝置包括由碳纖維電熱元件構(gòu)成的圓環(huán)形紅外線加熱管（15）和硅橡膠加熱器（54），其中圓環(huán)形紅外線加熱管的直徑大于噴射束噴射到此處的液束直徑，通過導(dǎo)桿夾持結(jié)構(gòu)（46）固定安裝在內(nèi)導(dǎo)軌（38）上，紅外線加熱管的導(dǎo)線通過真空門法蘭端蓋上的電極引線法蘭與置于真空噴射室外部的加熱裝置控制器（12）相連，硅橡膠加熱器安裝在基片架的背面，加熱器導(dǎo)線通過軸承座滑塊、內(nèi)導(dǎo)軌和真空門法蘭端蓋上的電極引線法蘭與所述加熱裝置控制器相連；

所述測試裝置包括置于真空噴射室外部的發(fā)射光源（65）、與發(fā)射光源相對應(yīng)的CCD高速攝像機（16）、與高速攝像機相連接的PC機（13）和溫度檢測裝置（8）；其中溫度檢測裝置的信號線通過真空門法蘭端蓋上的測試信號線法蘭與安裝在基片架下方的溫度傳感器（53）相接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空噴霧特性研究的鍍膜裝置，其特征在于：所述連接基片架（17）與軸承座滑塊（19）的連接件包括上端與軸承座滑塊固定連接的連接板（36），與該連接板垂直連接的兩個可伸縮式拉桿（35），拉桿的前端通過與其鉸接的基片架轉(zhuǎn)動桿（66）與基片架固定連接，在拉桿的正下方設(shè)有后端與連接板固定連接的基片架頂板（34）。