[發明專利]直寫式光刻系統中傾斜掃描的圖像數據壓縮方法

有效

• 申請號: 201210189351.2
• 申請日: 2012-06-08
• 公開（公告）號: CN102736449A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 陳勇;陳修濤;張愛民
• 申請（專利權）人: 合肥芯碩半導體有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.一種在直寫式光刻系統中傾斜掃描的圖像數據的壓縮方法，其特征在于：同時進行N行位圖數據進行壓縮，壓縮后N×N位圖數據，以字為單位，壓縮后數據依次為行起始標志、壓縮后的數量、位圖數據或位圖壓縮數據；

假設N×N=4×4；

具體步驟如下：

（1）讀取4行位圖數據，建立壓縮緩沖區；

（2）壓縮入行起始標志HEX數0xA5A5，再壓入0xFFFF；

（3）取出4×4位圖數據，組成16bit的數，計數值cnt清零；

（4）全白檢測，是計數加1，重復取出4×4位圖數據作全白檢測，直至不是全白，則壓縮入0xAA00與計數值cnt的和；

（5）全黑檢測，是計數加1，重復取出4×4位圖數據作全黑檢測，直至不是全黑，則壓縮入0x5500與計數值cnt的和；

（6）把位圖數據與上一個壓縮入緩沖區的位圖數據比較，不同則轉下一個步驟；相同則計數值cnt加1，重復取出4×4位圖數據作相同檢測，直至是不相同，則壓縮入0x5A00與計數值的和；

（7）將此位圖數據壓縮入緩沖區；

（8）重復步驟（3）～（7），直至4行數據檢查完，用壓入的數據量改寫前項0xFFFF數據；

（9）4行數據壓縮完畢，依次向下掃描檢查壓縮圖像數據，重復步驟（1）～（8），直至全部圖像數據壓縮完。

2.根據權利要求1所述的在直寫式光刻系統中傾斜掃描的圖像數據的壓縮方法，其特征在于：所述的N等于4或5。

3.根據權利要求1所述的在直寫式光刻系統中傾斜掃描的圖像數據的壓縮方法，其特征在于：所述的位圖壓縮數據和起始標志是不會出現的N×N位圖，不會出現的N×N位圖可以選擇用行或者用列編排。