[發(fā)明專利]硅片切割廢漿液的處理方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210187582.X | 申請日: | 2012-06-07 |
| 公開(公告)號: | CN103466623A | 公開(公告)日: | 2013-12-25 |
| 發(fā)明(設計)人: | 周君;支田田;羅偉琪;劉偉;楊長劍 | 申請(專利權(quán))人: | 浙江昱輝陽光能源有限公司 |
| 主分類號: | C01B31/36 | 分類號: | C01B31/36 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人: | 李玉秋 |
| 地址: | 314117 浙*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 硅片 切割 漿液 處理 方法 | ||
1.一種硅片切割廢漿液的處理方法,包括以下步驟:
步驟a)將硅片切割廢漿液進行離心分離,分別得到液料和固料;
步驟b)利用磁力裝置去除所述固料中的鐵,得到SiC。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理方法,其特征在于,所述步驟a)具體為:
利用螺旋離心機將硅片切割廢漿液進行離心分離,進料速度為0.6~1.2T/h,分別得到液料和固料。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理方法,其特征在于,所述螺旋離心機的轉(zhuǎn)速為2000~2500rpm。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理方法,其特征在于,所述螺旋離心機的轉(zhuǎn)鼓長徑比為2~2.5。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理方法,其特征在于,所述螺旋離心機的轉(zhuǎn)鼓半徑為300~450mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的處理方法,其特征在于,所述螺旋離心機的擋板高度為5~15mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理方法,其特征在于,所述步驟b)具體為:
步驟b1)將所述固料與硅片切割液混合,形成混合液;
步驟b2)向所述混合液中插入磁鐵去除所述混合液中的鐵,離心分離后得到SiC。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的處理方法,其特征在于,所述磁鐵的磁通量為500~1000mT。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的處理方法,其特征在于,所述步驟b2)的離心分離采用螺旋離心機,所述螺旋離心機的轉(zhuǎn)速為2000~2500rpm。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的處理方法,其特征在于,所述螺旋離心機的轉(zhuǎn)鼓長徑比為2~2.5,轉(zhuǎn)鼓半徑為300~450mm。
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