[發(fā)明專利]一種剪切位移散斑測(cè)量方法及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210186751.8
• 申請(qǐng)日: 2012-06-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103471508A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 池景春;蘭艷平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/02
• 分類號(hào): G01B11/02
• 代理公司: 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種剪切位移散斑測(cè)量方法，其特征在于，包括：將兩激光光束合束后投射至一粗糙表面后得到一散射光，將所述散射光經(jīng)一半透半反鏡后改變方向并分成兩束光，其中第一光束分別經(jīng)過(guò)第一透鏡和第一探測(cè)器獲得所述散射光的多色散斑圖，根據(jù)所述多色散斑圖得到被測(cè)表面偏轉(zhuǎn)俯仰角度，第二光束分別經(jīng)過(guò)一濾波片、第二透鏡和第二探測(cè)器獲得所述散射光的單色散斑圖，根據(jù)所述單色散斑圖得到被測(cè)表面的移動(dòng)距離，將所述移動(dòng)距離消除所述被測(cè)表面偏轉(zhuǎn)后獲得一剪切位移。

2.如權(quán)利要求1所述的剪切位移散斑測(cè)量方法，其特征在于，所述濾波器為窄帶濾波器。

3.一種剪切位移散斑測(cè)量裝置，其特征在于，包括：第一光源和第二光源，所述第一第二光源所發(fā)出的光束經(jīng)一合束器后投射至一粗糙表面后得到一散射光，所述散射光經(jīng)一半透半反鏡后分成兩束光，其中第一光束分別經(jīng)過(guò)第一透鏡和第一探測(cè)器獲得所述散射光的多色散斑圖，根據(jù)所述多色散斑圖得到被測(cè)表面偏轉(zhuǎn)俯仰角度，第二光束分別經(jīng)過(guò)一濾波片、第二透鏡和第二探測(cè)器獲得所述散射光的單色散斑圖，根據(jù)所述單色散斑圖得到被測(cè)表面的移動(dòng)距離，將所述移動(dòng)距離消除所述被測(cè)表面偏轉(zhuǎn)后獲得一剪切位移。

4.如權(quán)利要求3所述的剪切位移散斑測(cè)量裝置，其特征在于，所述第一光源和第二光源均為激光光源。

5.如權(quán)利要求3所述的剪切位移散斑測(cè)量裝置，其特征在于，所述合束器為光纖耦合器。

6.如權(quán)利要求3所述的剪切位移散斑測(cè)量裝置，其特征在于，所述第一第二探測(cè)器為CCD探測(cè)器。

7.如權(quán)利要求3所述的剪切位移散斑測(cè)量裝置，其特征在于，所述濾波器為窄帶濾波器。