[發明專利]一種金屬氧化物薄膜晶體基板及其制造方法和液晶顯示器

有效

• 申請號: 201210186458.1
• 申請日: 2012-06-07
• 公開（公告）號: CN102723334A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發明（設計）人: 王杰;洪孟逸
• 申請（專利權）人: 南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1362;G02F1/1368
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種金屬氧化物薄膜晶體基板，位于玻璃基板上，其特征在于，包括：

數據線，包括:第一數據線、第二數據線、以及連接第一數據線和第二數據線的信號搭橋線；

柵線，與數據線交叉；

TFT元件，包括:位于柵線上的絕緣層、由信號搭橋線形成的源極、漏極、以及與柵線連接的柵極、以及位于源極和漏極之間的半導體層；

像素電極，與漏極連接；

保護層，位于半導體層上；其中，

所述半導體層位于絕緣層上。

2.如權利要求1所述的金屬氧化物薄膜晶體基板，其特征在于，所述第一數據線、柵線、第二數據線、以及柵極均位于玻璃基板上。

3.如權利要求1所述的金屬氧化物薄膜晶體基板，其特征在于，所述信號搭橋線、源極、柵極、以及像素電極均由透明導電膜材料制成。

4.如權利要求1所述的金屬氧化物薄膜晶體基板，其特征在于，半導體層所用材料為ZnO或IGZO。

5.如權利要求1所述的金屬氧化物薄膜晶體基板，其特征在于，所述保護層為蝕刻阻擋層，且所述保護層由SiO₂材料制成。

6.如權利要求1所述的如權利要求7所述的金屬氧化物薄膜晶體基板的制造方法，其特征在于：還包括位于玻璃基板上的端子，所述端子上設有金屬導線層。

7.一種液晶顯示器，其特征在于：包括如權利要求1-6所述的金屬氧化物薄膜晶體基板基板和CF基板、以及位于金屬氧化物薄膜晶體基板基板和CF基板之間的液晶。

8.一種金屬氧化物薄膜晶體基板的制造方法，其特征在于，包括如下步驟：

10）在玻璃基板上形成一金屬層，接著在該金屬層上形成第一數據線、柵線、第二數據線、與柵線連接的柵極；

20）在形成上述圖案的基礎上形成一絕緣層，接著在該絕緣層上形成第二接觸孔與第三接觸孔；

30）在形成上述圖案的基礎上用沉積一層金屬線，接著形成信號搭橋線、源極、像素電極、第六接觸孔、漏極，所述信號搭橋線連接第一數據線和第二數據線，所述像素電極連接漏極；

40）在第六接觸孔內形成分別半導體層和保護層，所述半導體層的兩端分別與源極與漏極接觸；所述保護層位于半導體層上。

9.如權利要求8所述的金屬氧化物薄膜晶體基板的制造方法，其特征在于：所述第二接觸孔位于第一數據線上，所述第三接觸孔位于第二數據線上。

10.如權利要求8或9所述的金屬氧化物薄膜晶體基板的制造方法，其特征在于：所述信號搭橋線連接第二接觸孔和第三接觸孔。

11.如權利要求8所述的金屬氧化物薄膜晶體基板的制造方法，其特征在于：在所述步驟10）中，在玻璃基板上形成端子，在步驟20）中，形成位于端子上的第一接觸孔，在所述步驟30）中，在第一接觸孔內形成金屬導電層。