[發(fā)明專利]一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置和方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210185861.2
• 申請日: 2012-06-07
• 公開（公告）號(hào): CN102717190A
• 公開（公告）日: 2012-10-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙裕興;狄建科;張偉;益凱劼;張子國;蔡仲云;閆華
• 申請（專利權(quán)）人: 江陰德力激光設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/36
• 分類號(hào): B23K26/36;B23K26/06;B23K26/16;B23K26/42
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務(wù)所 32210
• 代理人: 唐紉蘭;沈國安

1.一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置，其特征在于：所述裝置包含有激光刻蝕設(shè)備，所述激光刻蝕設(shè)備包含有激光器（1）、光閘（2）、1/2波片（3）、格蘭棱鏡（4）、擴(kuò)束鏡（5）、全反鏡片（6）、振鏡系統(tǒng)（7）和遠(yuǎn)心場鏡（8），所述激光器（1）發(fā)出的激光依次經(jīng)光閘（2）、1/2波片（3）和格蘭棱鏡（4）后射入擴(kuò)束鏡（5）對光束進(jìn)行同軸擴(kuò)束，經(jīng)擴(kuò)束鏡（5）擴(kuò)束準(zhǔn)直后的激光到達(dá)全反鏡片（6），經(jīng)全反鏡片（6）反射后的激光射入振鏡系統(tǒng)（7），射出振鏡系統(tǒng)（7）的激光經(jīng)遠(yuǎn)心場鏡（8）后聚焦到被吸附于真空吸附平臺(tái)（13）上的待加工件（12）上。

2.如權(quán)利要求1所述一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置，其特征在于：所述激光器（1）為高頻率短脈沖激光器。

3.如權(quán)利要求1所述一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置，其特征在于：所述裝置包含有高度測量儀（16），且高度測量儀（16）設(shè)置于振鏡系統(tǒng)（7）上。

4.如權(quán)利要求3所述一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置，其特征在于：所述高度測量儀（16）為非接觸式高度測量儀。

5.如權(quán)利要求1或2或3所述一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置，其特征在于：所述激光器（1）、振鏡系統(tǒng)（7）和高度測量儀（16）均通過通訊系統(tǒng)（15）與工控機(jī)（14）相連。

6.如權(quán)利要求5所述一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置，其特征在于：所述作為待加工件（12）的有機(jī)玻璃通過真空吸附平臺(tái)（13）進(jìn)行固定，所述作為待加工件（12）的有機(jī)玻璃的導(dǎo)電膜層的上方設(shè)置有一CCD對位觀察系統(tǒng)（9）。

7.如權(quán)利要求6所述一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的裝置，其特征在于：所述作為待加工件（12）的有機(jī)玻璃的導(dǎo)電膜層的上方兩側(cè)分別設(shè)置有集塵系統(tǒng)（10）和吹氣系統(tǒng)（11）。

8.一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的方法，其特征在于：所述方法采用如權(quán)利要求6所述的一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上雙面導(dǎo)電膜的裝置，該方法包含有以下步驟：

步驟一、激光器（1）發(fā)出的激光經(jīng)1/2波片（3）和格蘭棱鏡（4）后，再經(jīng)擴(kuò)束鏡（5）準(zhǔn)直擴(kuò)束后，再通過振鏡系統(tǒng)（7）和具有較小焦距的遠(yuǎn)心場鏡（8）聚焦，使聚焦光斑在5um～20um；?

步驟二、將作為待加工件（12）的有機(jī)玻璃吸附于真空吸附平臺(tái)（13）上，配合著高度測量儀（16）進(jìn)行實(shí)時(shí)測量，將測量數(shù)據(jù)反饋給工控機(jī)（14），工控機(jī)（14）會(huì)對數(shù)據(jù)進(jìn)行處理從而調(diào)整焦距，有效的保證焦點(diǎn)始終聚焦在有機(jī)玻璃表面的導(dǎo)電膜上；

步驟三、進(jìn)行CCD定位；利用具有CCD自動(dòng)抓靶功能的CCD對位觀察系統(tǒng)（9）對蝕刻圖形進(jìn)行定位，隨后開始激光刻蝕操作。

9.如權(quán)利要求8所述一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的方法，其特征在于：所述方法還包含有步驟四：激光按照設(shè)計(jì)圖形進(jìn)行蝕刻時(shí)，同時(shí)打開設(shè)置于作為待加工件（12）的有機(jī)玻璃的導(dǎo)電膜的上方兩側(cè)的集塵系統(tǒng)（10）和吹氣系統(tǒng)（11），確保蝕刻產(chǎn)生的粉塵全部吸入集塵系統(tǒng)（10）中。

10.如權(quán)利要求8所述一種脈沖激光刻蝕有機(jī)玻璃上導(dǎo)電膜層的方法，其特征在于：所述激光器（1）為M²<1.5的高頻率的脈沖激光器，所述擴(kuò)束鏡（5）為2X-20X的擴(kuò)束鏡，所述遠(yuǎn)心場鏡（8）的規(guī)格為F30~F250。