[發明專利]太陽電池單元檢查裝置

在審

• 申請號: 201210184156.0
• 申請日: 2012-05-29
• 公開（公告）號: CN102983089A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 高見芳夫;橋本豊之;北原大
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種太陽電池單元檢查裝置，其特征在于包括：

第一照射部，向平板形狀的半導體晶圓的第一面照射可見光；

第一拍攝部，接收所述半導體晶圓所反射的所述可見光，借此，取得所述半導體晶圓的反射影像；

第二照射部，向與所述半導體晶圓的所述第一面相向的所述半導體晶圓的第二面照射紅外光；

第二拍攝部，接收透過所述半導體晶圓的所述紅外光，借此，取得所述半導體晶圓的透射影像；以及

判定部，基于所述反射影像及所述透射影像，判定所述半導體晶圓是否存在缺陷，上述太陽電池單元檢查裝置的特征在于：

包括配置在所述第一拍攝部及所述第二拍攝部之間的分束器，

所述分束器將不足設定波長的光引導至第一拍攝部，并且將設定波長以上的光引導至第二拍攝部。

2.根據權利要求1所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于：

所述第二拍攝部的分辨率高于所述第一拍攝部的分辨率。

3.根據權利要求1或2所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于：

所述第一照射部包括藍色光源、綠色光源、以及紅色光源，

所述第二照射部包括紅外光源。

4.根據權利要求1或2所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于：

所述半導體晶圓為太陽電池單元，

所述判定部判定所述半導體晶圓是否存在選自膜厚、裂縫、電極檢查、缺損、以及表面缺陷中的至少一種缺陷。

5.一種太陽電池單元檢查裝置，其特征在于包括：

第一照射部，向平板形狀的半導體晶圓的第一面照射可見光；

第一拍攝部，接收所述半導體晶圓所反射的所述可見光，借此，取得所述半導體晶圓的反射影像；

第二照射部，向與所述半導體晶圓的所述第一面相向的所述半導體晶圓的第二面照射紅外光；

第二拍攝部，接收透過所述半導體晶圓的所述紅外光，借此，取得所述半導體晶圓的透射影像；以及

判定部，基于所述反射影像及所述透射影像，判定所述半導體晶圓是否存在缺陷，上述太陽電池單元檢查裝置的特征在于：

在所述第一拍攝部的受光面的前方配置有第一濾光器，該第一濾光器使不足第一設定波長的光透射，并且對第一設定波長以上的光進行反射，

在所述第二拍攝部的受光面的前方配置有第二濾光器，該第二濾光器使第二設定波長以上的光透射，并且對不足第二設定波長的光進行反射。

6.根據權利要求5所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于：

包括配置在所述第一拍攝部及所述第二拍攝部之間的半反射鏡，

所述半反射鏡將一部分的光引導至所述第一拍攝部，并且將剩余的光引導至所述第二拍攝部。

7.根據權利要求5或6所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于：

所述第一設定波長為比所述第二設定波長更長的波長。

8.根據權利要求5或6所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于：

所述第二拍攝部的分辨率高于所述第一拍攝部的分辨率。

9.根據權利要求5或6所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于：

所述第一照射部包括藍色光源、綠色光源、以及紅色光源，

所述第二照射部包括紅外光源。

10.根據權利要求5或6所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于：

所述半導體晶圓為太陽電池單元，

所述判定部判定所述半導體晶圓是否存在選自膜厚、裂縫、電極檢查、缺損、以及表面缺陷中的至少一種缺陷。