[發明專利]板料刻痕特征無損高精密測量裝置

在審

• 申請號: 201210183606.4
• 申請日: 2012-06-05
• 公開（公告）號: CN103453838A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 陳長江;楊國舜;郭立杰;尤登飛;陸彬;陳軍
• 申請（專利權）人: 上海航天設備制造總廠
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01B11/24;G01B11/22
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 郭國中

1.一種板料刻痕特征無損高精密測量裝置，其特征在于，包括：支架、二維滑臺、第一傳感器、轉臺組件、單向滑臺、滑塊、導軌、第二感器、鎖扣和托架，所述第一傳感器通過所述二維滑臺連接至所述支架側面框架上；所述導軌與所述支架的底面框架連接，所述單向滑臺通過所述滑塊和鎖扣與所述導軌連接，所述轉臺組件與所述單向滑臺連接；所述第二傳感器通過所述托架與所述支架連接，且設置在所述單向滑臺下方。

2.如權利要求1所述的板料刻痕特征無損高精密測量裝置，其特征在于，所述轉臺組件進一步包括：轉臺、手柄和螺桿，所述轉臺連接至所述單向滑臺，所述螺桿一端與所述轉動手柄連接，另一端通過齒輪結構與轉臺連接。

3.如權利要求2所述的板料刻痕特征無損高精密測量裝置，其特征在于，所述轉臺上設置有放射形光柵。

4.權利要求1所述的板料刻痕特征無損高精密測量裝置，其特征在于，所述滑臺中部為空心結構，用以放置所述轉臺。

5.權利要求1所述的板料刻痕特征無損高精密測量裝置，其特征在于，所述第一傳感器為二維激光位移傳感器，用以實現對閥門膜片刻痕形態和殘余厚度的測量。

6.權利要求1所述的板料刻痕特征無損高精密測量裝置，其特征在于，所述第二傳感器為單點激光位移傳感器，用以實現對閥門膜片不同截面的自動測量。