[發明專利]鈷靶材熱處理方法有效
| 申請號： | 201210182729.6 | 申請日： | 2012-06-01 |
| 公開（公告）號： | CN103451586A | 公開（公告）日： | 2013-12-18 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;陳勇軍 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C22F1/10 | 分類號： | C22F1/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 駱蘇華 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市余姚*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鈷靶材 熱處理 方法 | ||
1.一種鈷靶材熱處理方法，其特征在于，包括：
提供鈷靶材，所述鈷靶材的純度大于4N；
預熱砂子；
將已預熱的砂子包覆所述鈷靶材，對所述鈷靶材進行熱處理。
2.根據權利要求1所述的鈷靶材熱處理方法，其特征在于，所述砂子是填充于熱處理裝置中，所述鈷靶材是在加熱所述砂子之后再沒入所述砂子中。
3.根據權利要求1或2所述的鈷靶材熱處理方法，其特征在于，還包括感測所述鈷靶材的加熱溫度的步驟。
4.根據權利要求3所述的鈷靶材熱處理方法，其特征在于，所述感測所述鈷靶材的加熱溫度包括通過表面溫度感測器進行感測。
5.根據權利要求1所述的鈷靶材熱處理方法，其特征在于，所述鈷靶材在熱處理之前已進行了塑性變形工藝。
6.根據權利要求1所述的鈷靶材熱處理方法，其特征在于，所述預熱砂子的加熱溫度為150℃～400℃。
7.根據權利要求1所述的靶材熱處理方法，其特征在于，所述熱處理工藝具體參數為：加熱溫度為150℃～400℃，并在此溫度下保溫45min~90min。
8.根據權利要求1所述的鈷靶材熱處理方法，其特征在于，所述鈷靶材的純度范圍為4N5~6N。
9.根據權利要求2所述的鈷靶材熱處理方法，其特征在于，所述熱處理裝置為恒溫爐。
10.根據權利要求1所述的鈷靶材熱處理方法，其特征在于，所述砂子材料為碳化硅、氧化鋁或石英砂，規格為45號、60號、70號、80號與90號中的任一種。
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