[發明專利]劃線裝置的刀片架的更換方法

有效

• 申請號: 201210182011.7
• 申請日: 2006-12-01
• 公開（公告）號: CN102701579A
• 公開（公告）日: 2012-10-03
• 發明（設計）人: 山本正男;田端淳
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: C03B33/027
• 分類號: C03B33/027
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 何騰云

本發明專利申請是申請號為200680026761.8、申請日為2006年12月1日、發明名稱為“劃線裝置、劃線方法以及刀片架”的發明專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及用于在脆性材料基板上形成劃線線條的劃線裝置、劃線方法及其所使用的刀片架，特別涉及在保持劃線線條形成用的滾輪刀片（劃線滾輪）的刀片架上具有特征的劃線裝置、劃線方法及刀片架。

背景技術

以往，在液晶顯示面板或液晶投影器基板等平板顯示器等中，在制造過程中，素玻璃基板在粘合后被截斷，形成規定大小的單個的面板。在截斷該素玻璃基板等脆性材料基板時，有劃線工序和斷開工序，在劃線工序中使用劃線裝置。

圖1是表示現有的劃線裝置的一例的概略立體圖。該劃線裝置100中的移動臺101沿一對導軌102a、102b在y軸方向移動自由地被保持。滾珠絲杠103與移動臺101螺紋接合。滾珠絲杠103由馬達104驅動而旋轉，使移動臺101沿導軌102a、102b在y軸方向移動。在移動臺101的上面設有馬達105。馬達105使工作臺106在xy平面內旋轉，按規定角度定位。脆性材料基板107放置在該工作臺106上，由沒有圖示的真空吸引機構等保持。在劃線裝置的上部設有拍攝脆性材料基板107的對位標記的兩臺CCD照相機108。

在劃線裝置100中，按跨過移動臺101和其上部的工作臺106的方式，沿x軸方向利用支柱111a、111b架設橋構件110。劃線頭112能沿設在橋構件110上的導向件113在x軸方向移動。馬達114是使劃線頭112沿x軸方向移動的驅動源。在劃線頭112的前端部，經由架接頭120而安裝有刀片架130。

下面對安裝在劃線頭112上的現有的架接頭和刀片架進行說明。如圖2所示的分解立體圖那樣，架接頭120在上部具有軸承121，下方具有構成為L字形的架部122。在架部122的側方設有定位用的銷123。刀片架130如圖3、圖4所示是可轉動地保持圓板狀的滾輪刀片（以下簡稱為刀片）131的部件。刀片131利用銷（未作圖示）旋轉自由地保持在下端中央的前端部，銷由擋塊132防止脫落。刀片131一邊與脆性材料基板壓接一邊滾動，形成劃線線條。該刀片架130通過使其側面與定位銷123接觸，定位在架接頭120的架部122。而且，刀片架130由固定螺栓133固定在架部122上。劃線頭112可升降移動地保持其下部的架接頭120以及刀片架130。在劃線頭112上設有在其內部可以進行這樣的升降動作的升降部，例如使用氣壓控制的氣缸或由線性馬達等驅動的電動升降部等。該升降部一邊以適當的載荷使刀片131壓接在脆性材料基板的表面上，一邊使刀片131滾動，形成劃線線條。

其次，對在作為劃線裝置組裝后，對劃線動作所需的電以及機械方面的調整結束了的劃線裝置的劃線動作進行說明。圖5A、圖5B是表示該處理順序的流程圖。在劃線開始前，如圖6所示，首先把脆性材料基板107放置在工作臺106上，在定位后進行吸引固定（步驟S0）。之后，為了確認定位狀況，使用設在劃線裝置上方的兩臺CCD照相機108，分別放大攝像基板上的左右兩處的定位用的對位標記63a及63b，進行圖像處理（步驟S1）。由于攝像后的放大圖像在各自對應的監視器上顯示，所以，操作人員可以一邊確認其攝制的圖像一邊進行精確的定位作業。劃線裝置100通過圖像處理，檢測基板107從連接兩臺CCD照相機的線、即工作臺106的基準線A傾斜多少角度（θ）放置，或者基板107從作為工作臺106的基準的原點位置偏離多少放置（步驟S2）。根據其檢測結果，劃線裝置100進入步驟S3，通過馬達105的轉動進行修正，使工作臺106的傾斜角θ變成0。從工作臺106的原點位置的偏離可以進行以下修正。關于y軸方向，使工作臺106在y軸方向上移動與上述偏離量的y軸方向成分相當的量，另外，關于x軸方向使劃線頭112的位置移動與上述偏離量的x軸成分相當的量。另外，作為其它的修正方法，還有下述的方法。即，劃線裝置把上述偏離量分成x軸成分和y軸成分，通過修正劃線動作開始位置的位置數據的各軸成分的值，使劃線開始位置移動。若這樣作也可以得到相同的結果。

在更換劃線對象的基板時，每次必定需要在劃線開始前實行上述偏離量的修正作業。只要修正作業結束，就從所希望的位置開始劃線動作。劃線裝置100使刀片架下降，使刀片一邊與基板接觸一邊滾動，進行通常劃線（步驟S5～S7）。之后，在該劃線線條的形成之后，劃線裝置100使刀片架上升（步驟S8），接著，使基板相對移動（步驟S9），返回至S5。