[發明專利]調整MEMS陀螺儀以減小熱變偏移無效
| 申請號： | 201210181898.8 | 申請日： | 2012-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN102768038A | 公開（公告）日： | 2012-11-07 |
| 發明（設計）人： | R·蘇皮諾;H·B·弗倫奇 | 申請（專利權）人： | 霍尼韋爾國際公司 |
| 主分類號： | G01C19/5776 | 分類號： | G01C19/5776 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 謝攀;李浩 |
| 地址： | 美國新*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 調整 mems 陀螺儀 減小 偏移 | ||
1.一種用于校準微機電系統(MEMS)振動結構陀螺儀的方法，該方法包括：
獲得至少一個檢測質塊相對于至少一個驅動電極的位置的指示；以及
根據所述指示，向所述至少一個檢測質塊施加靜電力，所述靜電力被配置為將所述至少一個檢測質塊定位在相對于所述至少一個驅動電極的第一位置。
2.一種振動結構陀螺儀，該陀螺儀包括：
具有至少一個第一梳的至少一個檢測質塊，所述至少一個檢測質塊具有與感應軸正交布置的平面結構；
具有至少一個第二梳的至少一個驅動電極，所述至少一個第二梳被配置成與所述至少一個第一梳嚙合；
第一電極，面向所述至少一個檢測質塊的第一側，和第二電極，面向所述至少一個檢測質塊的第二側，其中，所述至少一個檢測質塊的第一側和第二側與感應軸正交；和
控制電路，被配置為：
向第一電極施加第一直流(DC)電壓，且向第二電極施加第二DC電壓，以便相對于所述至少一個驅動電極的至少一個梳沿所述感應軸的位置調整所述至少一個檢測質塊的至少一個梳沿所述感應軸的位置。
3.一種用于校準微機電系統(MEMS)振動結構陀螺儀的方法，該方法包括：
向至少一個驅動電極施加測試信號；
向至少一個檢測質塊系統地施加不同的測試靜電力；
測量所述至少一個驅動電極和所述至少一個檢測質塊之間的電容，以獲得與不同測試靜電力相對應的多個電容；
選擇不同靜電力中的第一靜電力，所述第一靜電力對應于所述電容中的最大電容；并在所述至少一個檢測質塊的操作期間，向所述至少一個檢測質塊施加第一靜電力。
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