[發明專利]蒸鍍隔離元件及具有蒸鍍隔離元件的蒸鍍裝置

無效

• 申請號: 201210181728.X
• 申請日: 2012-05-31
• 公開（公告）號: CN102864416A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 周子弘;張謙成;林耀輝
• 申請（專利權）人: 隆達電子股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一個種蒸鍍隔離元件，用于一個爐床內承載蒸鍍材料；其特征在于：該蒸鍍隔離元件包含一個耐熱本體、一個形成于該耐熱本體頂部的頂面，及一個形成于該耐熱本體且抵接于該爐床內側面的防溢緣，該耐熱本體包括一個形成于底部的凹室，該頂面周緣高度不高于該頂面的中心部。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于：該耐熱本體是選自石墨、陶瓷、Al₂O₃、BeO、BN、MgO、TiC/C合金、TiB₂-BN、SiC、ThO₂及ZrO₂所構成的群組制成。

3.根據權利要求1所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于：該蒸鍍隔離元件還包括一個立柱部，該立柱部自該耐熱本體底部中心向下延伸，該凹室繞該立柱部呈環狀空間。

4.根據權利要求3所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于：該防溢緣形成于該耐熱本體的底緣。

5.根據權利要求1所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于：該蒸鍍隔離元件還包括一個立環部，該立環部自該耐熱本體底面周緣向下延伸，該凹室呈圓盤狀。

6.根據權利要求5所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于：該防溢緣形成于該承載盤與該立環部外周緣。

7.根據權利要求1所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于：該耐熱本體截面呈弧狀拱起，該頂面周緣高度低于該頂面的中心部。

8.根據權利要求7所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于：該防溢緣形成于該耐熱本體底緣。

9.根據權利要求1所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于：該頂面周緣高度與該頂面的中心部高度相同，該防溢緣形成于該頂面周緣，該凹室呈弧凸狀。

10.一個種具有蒸鍍隔離元件的蒸鍍裝置，包含：一個爐床、一個蒸鍍源、一個裝設于該爐床的冷卻裝置，及一個蒸鍍隔離元件；其特征在于：該蒸鍍隔離元件包括一個耐熱本體、一個形成于該耐熱本體頂部的頂面，及一個形成于該耐熱本體且抵接于該爐床內側面的防溢緣，該耐熱本體具有一個形成于底部的凹室，該頂面周緣高度不高于該頂面的中心部。

11.根據權利要求10所述的之蒸鍍隔離元件，其特征在于：該耐熱本體是選自石墨、陶瓷、Al₂O₃、BeO、BN、MgO、TiC/C合金、TiB₂-BN、SiC、ThO₂及ZrO₂所構成的群組制成。

12.一個種蒸鍍隔離元件，用于一個爐床內承載蒸鍍材料；其特征在于：該蒸鍍隔離元件包含一個耐熱本體、一個形成于該耐熱本體頂部的頂面，及一個形成于該耐熱本體且抵接于該爐床內側面的防溢緣，該頂面周緣高度高于該頂面的中心部。

13.根據權利要求12所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于：該耐熱本體是選自石墨、陶瓷、Al₂O₃、BeO、BN、MgO、TiC/C合金、TiB₂-BN、SiC、ThO₂及ZrO₂所構成的群組制成。