[發(fā)明專利]一種用于運(yùn)動(dòng)臺(tái)誤差定位誤差校準(zhǔn)的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210181490.0
• 申請(qǐng)日: 2012-06-05
• 公開（公告）號(hào): CN103453847A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 毛方林;李煜芝;林彬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/24
• 分類號(hào): G01B11/24;G01B11/30
• 代理公司: 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種用于運(yùn)動(dòng)臺(tái)誤差定位誤差校準(zhǔn)的方法，其特征在于，包括：

步驟一：利用干涉儀于第一起始位置以一定步長(zhǎng)測(cè)量所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)的反射鏡面的面形，獲得第一組面形數(shù)據(jù)，所述步長(zhǎng)為所述干涉儀的間距；

步驟二：重復(fù)執(zhí)行步驟一，每次起始位置與前一次起始位置的間距大于零且小于所述步長(zhǎng)，獲得多組面形數(shù)據(jù)，得到所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)的反射鏡面的完整面形數(shù)據(jù)，計(jì)算面形誤差；

步驟三、結(jié)合所述面形誤差，采用插值處理所述完整面形數(shù)據(jù)獲得一面形殘差；

步驟四、對(duì)所述面形殘差進(jìn)行濾波獲得一最終面形數(shù)據(jù)；

步驟五、利用所述最終面形數(shù)據(jù)，在運(yùn)動(dòng)臺(tái)控制系統(tǒng)進(jìn)行伺服控制時(shí)，提前補(bǔ)償反射鏡面型數(shù)據(jù)。

2.如權(quán)利要求1所述的用于運(yùn)動(dòng)臺(tái)誤差定位誤差校準(zhǔn)的方法，其特征在于，所述面形誤差包括平移誤差和旋轉(zhuǎn)誤差。

3.如權(quán)利要求2所述的用于運(yùn)動(dòng)臺(tái)誤差定位誤差校準(zhǔn)的方法，其特征在于，所述平移誤差y(x)由以下公式獲得：

其中，??????????????????，???????????????????，

m2(x)和m3(x)分別為干涉儀的測(cè)量結(jié)果，函數(shù)M(x)為連續(xù)函數(shù)，用于描述位置x點(diǎn)處待測(cè)平面形貌，d為所述步長(zhǎng)。

4.如權(quán)利要求2所述的用于運(yùn)動(dòng)臺(tái)誤差定位誤差校準(zhǔn)的方法，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)誤差Rzy(x)?由以下公式獲得：

其中，??????????????????，???????????????????，

m2(x)和m3(x)分別為干涉儀測(cè)量結(jié)果，函數(shù)M(x)為連續(xù)函數(shù)，用于描述位置x點(diǎn)處待測(cè)平面形貌，d為所述步長(zhǎng)。

5.如權(quán)利要求1所述的用于運(yùn)動(dòng)臺(tái)誤差定位誤差校準(zhǔn)的方法，其特征在于，所述插值處理的方法為線性樣條插值方法、牛頓插值方法或者斯特林插值方法。

6.如權(quán)利要求1所述的用于運(yùn)動(dòng)臺(tái)誤差定位誤差校準(zhǔn)的方法，其特征在于，所述步驟三具體為采用線性樣條插值方法進(jìn)行處理，設(shè)第i次采樣結(jié)果為f(xi)，則經(jīng)樣條序列S插值后的面形結(jié)果為：

其中線性樣條插值系數(shù)為

????????、?????????????????。

7.如權(quán)利要求6所述的用于運(yùn)動(dòng)臺(tái)誤差定位誤差校準(zhǔn)的方法，其特征在于，所述面形殘差即所述樣條插值面形結(jié)果與所述完整面形數(shù)據(jù)的相減之差。

8.如權(quán)利要求1所述的用于運(yùn)動(dòng)臺(tái)誤差定位誤差校準(zhǔn)的方法，其特征在于，對(duì)所述面形殘差res進(jìn)行濾波所采用的方法為：????

???????????????????????????????????????????????????????????????。