[發明專利]氣相沉積裝置和方法以及制造有機發光顯示裝置的方法

有效

• 申請號: 201210180420.3
• 申請日: 2012-06-04
• 公開（公告）號: CN102881548A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 徐祥準;金勝勛;金鎮壙;宋昇勇
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L51/56
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 薛義丹

本申請要求于2011年7月13日在韓國知識產權局提交的第10-2011-0069487號韓國專利申請的優先權和權益，該申請的公開內容通過引用被全部包含于此。

技術領域

本發明涉及一種氣相沉積裝置、一種氣相沉積方法和一種制造有機發光顯示裝置的方法。

背景技術

半導體器件、顯示裝置和其它電子器件包括多個薄膜。可以使用各種方法來形成多個薄膜，其中之一是氣相沉積方法。

根據氣相沉積方法，使用一種或多種氣體作為用于形成薄膜的源。氣相沉積方法可以包括化學氣相沉積（CVD）方法、原子層沉積（ALD）方法和各種其它方法。

在顯示裝置中，由于有機發光顯示裝置的寬視角、優異的對比度和快速的響應速度，所以有機發光顯示裝置被視為下一代顯示裝置。

有機發光顯示裝置包括位于彼此面對的第一電極和第二電極之間的具有有機發射層的中間層以及一個或多個薄膜。這里，可以使用沉積工藝來形成有機發光顯示裝置的薄膜。

當有機發光顯示裝置的尺寸增大并需要高分辨率時，難以形成具有期望的性能的大尺寸的薄膜。另外，在提高用于形成薄膜的工藝的效率方面存在局限性。

發明內容

本發明的示例性實施例提供了一種能夠有效地執行沉積工藝并提高薄膜的特性的氣相沉積裝置、一種氣相沉積方法和一種制造有機發光顯示裝置的方法。

根據基于本發明的實施例的一方面，提供了一種用于在多個基底上形成薄膜的氣相沉積裝置，所述裝置包括：室，具有排放開口；架臺，位于室內，并包括多個安裝表面，所述多個安裝表面適于將所述多個基底安裝在所述多個安裝表面上；注入單元，具有至少一個注入開口，所述至少一個注入開口將氣體沿與所述多個基底的表面平行的方向注入到室中。

所述多個安裝表面可平行于重力作用的方向設置。

注入單元可設置在架臺上方。

所述多個安裝表面可包括相互平行設置的至少兩個安裝表面。

排放開口可結合到泵。

可通過注入開口順序地注入源氣和反應氣體。

注入單元可具有多個注入開口，通過所述多個注入開口獨立地注入源氣和反應氣體。

排放開口可比基底更靠近地面。

所述裝置還可包括具有用于在基底上以期望的圖案形成薄膜的掩模開口，其中，掩模設置在基底上。

所述裝置還可包括驅動單元，驅動單元被構造成當被安裝在室內的架臺上時驅動架臺，以移動基底。

驅動單元可沿與基底的其上將形成薄膜的表面垂直的方向傳送基底。

驅動單元可沿與基底的其上將形成薄膜的表面垂直的方向往復地傳送基底。

注入單元可具有多個注入開口，所述多個注入開口沿基底移動的方向相互分隔開以在移動基底的同時多次執行沉積工藝。

所述多個安裝表面可分別位于架臺的一側和與所述一側相對的一側。

所述多個安裝表面可位于架臺的所有側。

根據基于本發明的實施例的另一方面，提供了一種用于在多個基底上形成薄膜的氣相沉積方法，所述方法包括以下步驟：將所述多個基底分別安裝在室內的架臺的多個安裝表面上；通過注入單元將源氣沿與基底的其上將形成薄膜的表面平行的方向注入到室內；通過室的排放開口執行排放；通過注入單元將反應氣體沿與基底的所述表面平行的方向注入到室內；通過室的排放開口執行排放。

可通過泵來執行排放。

注入單元可具有注入開口，并且可通過注入開口順序地注入源氣和反應氣體。

注入單元可具有多個注入開口，并且可通過所述多個注入開口中的不同的注入開口分別注入源氣和反應氣體。

安裝基底的步驟可包括：將具有用于形成期望圖案的薄膜的開口的掩模放置在基底上。

當基底被安裝在架臺上時，可在沿與基底的所述表面垂直的方向移動基底時執行薄膜沉積。

根據基于本發明的實施例的另一方面，提供了一種制造有機發光顯示裝置的方法，所述有機發光顯示裝置包括位于多個基底上的多個薄膜，所述多個薄膜至少包括第一電極、包括有機發射層的中間層和第二電極。所述方法可以包括以下步驟：將所述多個基底安裝在室內的架臺的多個安裝表面上；通過注入單元將源氣沿與基底的其上將形成薄膜的表面平行的方向注入到室內；通過室的排放開口執行排放；通過注入單元將反應氣體沿與基底的所述表面平行的方向注入到室內；通過室的排放開口執行排放。

形成薄膜的步驟可包括在第二電極上形成包封層。

形成薄膜的步驟可包括形成絕緣層。

形成薄膜的步驟可包括形成導電層。

附圖說明