[發(fā)明專利]基于光干涉的氣壓分布測(cè)量裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210178846.5 | 申請(qǐng)日： | 2012-06-01 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102721505A | 公開(kāi)（公告）日： | 2012-10-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 侯予;趙紅利;馬斌;陳雙濤;賴天偉;劉昌海;劉秀芳 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 西安交通大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01L11/02 | 分類號(hào)： | G01L11/02 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200 | 代理人： | 陸萬(wàn)壽 |
| 地址： | 710049 *** | 國(guó)省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 干涉 氣壓 分布 測(cè)量 裝置 | ||
1.一種基于光干涉的氣壓分布測(cè)量裝置，其特征在于：包括支架以及安裝在支架內(nèi)的光源（1）、干涉顯微鏡（2）、第一光電傳感器（3）和分光轉(zhuǎn)換器（4），在干涉顯微鏡（2）的下端設(shè)置有由透明玻璃板（7）與反射平臺(tái)（8）組成的填裝被測(cè)氣膜的氣腔；
光源（1）用于將生成的包含兩種或兩種以上單色光的原復(fù)合光發(fā)送至干涉顯微鏡（2）；
干涉顯微鏡（2）用于對(duì)光源（1）發(fā)送的原復(fù)合光預(yù)處理，并將得到的預(yù)處理復(fù)合光按比例分為兩束，一束預(yù)處理復(fù)合光被發(fā)送至第一光電傳感器（3），另一束預(yù)處理復(fù)合光被發(fā)送至透明玻璃板（7）；對(duì)透明玻璃板（7）返回的反射光進(jìn)行放大處理，并將得到的放大反射光發(fā)送至分光轉(zhuǎn)換器（4）；
第一光電傳感器（3）用于將干涉顯微鏡（2）發(fā)送的一束預(yù)處理復(fù)合光由光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)后發(fā)送至數(shù)據(jù)采集器（5）；
分光轉(zhuǎn)換器（4）用于從干涉顯微鏡（2）發(fā)送的放大反射光中提取兩種或三種單色光，并將提取到的各單色光由光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)后發(fā)送至數(shù)據(jù)采集器（5）；
數(shù)據(jù)采集器（5）用于將采集的第一光電傳感器（3）發(fā)送的預(yù)處理復(fù)合光電信號(hào)與分光轉(zhuǎn)換器（4）發(fā)送的各單色光電信號(hào)轉(zhuǎn)發(fā)至計(jì)算機(jī)（6）；
計(jì)算機(jī)（6），用于預(yù)先存儲(chǔ)氣體折射率與氣體壓強(qiáng)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系；對(duì)來(lái)自數(shù)據(jù)采集器的預(yù)處理復(fù)合光電信號(hào)與各單色光電信號(hào)進(jìn)行處理，根據(jù)得到各單色光電信號(hào)產(chǎn)生的干涉信號(hào)強(qiáng)度與預(yù)處理復(fù)合光電信號(hào)的信號(hào)強(qiáng)度確定被測(cè)區(qū)域內(nèi)的氣體折射率，再根據(jù)氣體折射率與氣體壓強(qiáng)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，確定被測(cè)區(qū)域內(nèi)氣膜的內(nèi)部氣壓分布。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于光干涉的氣壓分布測(cè)量裝置，其特征在于，所述基于光干涉的氣壓分布測(cè)量裝置還包括第一分束器（10）、干涉攝像儀（11）和干涉照相機(jī)（12）；
其中，第一分束器（10）設(shè)置在干涉顯微鏡（2）與分光轉(zhuǎn)換器（4）之間，將透明玻璃板（7）返回的放大反射光按比例分為兩束：一束放大反射光被發(fā)送至干涉攝像儀（11），另一束放大反射光被發(fā)送至所述分光轉(zhuǎn)換器（4）；
干涉攝像儀（11）將捕捉到的一束放大反射光發(fā)送至干涉照相機(jī)（12）；
干涉照相機(jī)（12）對(duì)來(lái)自干涉攝像儀（11）的一束放大反射光進(jìn)行成像，并將成像信息發(fā)送至計(jì)算機(jī)（6）。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于光干涉的氣壓分布測(cè)量裝置，其特征在于，所述干涉顯微鏡（2）包括準(zhǔn)直鏡（21）、第二分束器（22）、物鏡（23）；其中，準(zhǔn)直鏡（21）與第二分束器（22）在同一水平位置，物鏡（23）設(shè)于第二分束器（22）的垂直下方；
準(zhǔn)直鏡（21）對(duì)所述光源（1）發(fā)送的原復(fù)合光進(jìn)行平行化處理，并將得到的預(yù)處理復(fù)合光發(fā)送至第二分束器（22）；
第二分束器（22）將來(lái)自準(zhǔn)直鏡（21）的預(yù)處理復(fù)合光按比例分為兩束：一束預(yù)處理復(fù)合光被發(fā)送至第一光電傳感器（3），另一束預(yù)處理復(fù)合光被發(fā)送至物鏡（23），同時(shí)將來(lái)自物鏡（23）的放大反射光轉(zhuǎn)發(fā)至所述分光轉(zhuǎn)換器（4）或第一分束器（10）；
物鏡（23）將來(lái)自第二分束器（22）的另一束預(yù)處理復(fù)合光發(fā)送至所述透明玻璃板（7）；將所述透明玻璃板（7）返回的反射光進(jìn)行放大，并將得到的放大反射光發(fā)送至第二分束器（22）。
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