[發(fā)明專利]一種用于提取半導(dǎo)體納米結(jié)構(gòu)特征尺寸的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210177237.8
• 申請(qǐng)日: 2012-05-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102750333A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉世元;朱金龍;張傳維;陳修國(guó)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華中科技大學(xué)
• 主分類號(hào): G06F17/30
• 分類號(hào): G06F17/30
• 代理公司: 華中科技大學(xué)專利中心 42201
• 代理人: 曹葆青

1.?一種用于提取半導(dǎo)體納米結(jié)構(gòu)特征尺寸的方法，其特征在于，該方法包括下述過(guò)程：

第1步?確定每一個(gè)待提取參數(shù)的取值范圍，生成子光譜數(shù)據(jù)庫(kù)；利用訓(xùn)練光譜和支持向量機(jī)訓(xùn)練網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行支持向量機(jī)訓(xùn)練；

第2步?利用訓(xùn)練完畢的支持向量機(jī)對(duì)測(cè)量光譜進(jìn)行映射，映射到一個(gè)對(duì)應(yīng)的子光譜數(shù)據(jù)庫(kù)；

第3步?利用搜索算法對(duì)所述對(duì)應(yīng)的子光譜數(shù)據(jù)庫(kù)展開(kāi)搜索，找出結(jié)果最優(yōu)的一條仿真光譜，該仿真光譜對(duì)應(yīng)的仿真結(jié)構(gòu)參數(shù)值即為待提取的納米結(jié)構(gòu)特征尺寸值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于提取半導(dǎo)體納米結(jié)構(gòu)特征尺寸的方法，其特征在于，第1步中，子光譜數(shù)據(jù)庫(kù)的獲取方法：

（1.1）將每一個(gè)待提取參數(shù)的取值范圍劃分成多個(gè)子取值范圍；

（1.2）在每一個(gè)待提取參數(shù)對(duì)應(yīng)的多個(gè)子取值范圍中選取一個(gè)子取值范圍，生成一個(gè)子參數(shù)取值組合；

（1.3）對(duì)每一個(gè)子參數(shù)取值組合中的子參數(shù)取值范圍離散取多組值，對(duì)離散值利用正向光學(xué)特性建模程序生成一條對(duì)應(yīng)的仿真光譜，每一個(gè)子參數(shù)取值組合中的所有離散點(diǎn)對(duì)應(yīng)的仿真光譜即為一個(gè)子光譜數(shù)據(jù)庫(kù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于提取半導(dǎo)體納米結(jié)構(gòu)特征尺寸的方法，其特征在于，第1步中，訓(xùn)練光譜的獲取方法：

每一個(gè)待提取的參數(shù)對(duì)應(yīng)一個(gè)支持向量機(jī)，每一個(gè)待提取參數(shù)的取值范圍被劃分成多少個(gè)子區(qū)間，則對(duì)應(yīng)的支持向量機(jī)輸出端包含多少個(gè)類，每一個(gè)類由一個(gè)唯一的數(shù)字標(biāo)示，用來(lái)代表一個(gè)子區(qū)間范圍；每一個(gè)類對(duì)應(yīng)著一個(gè)訓(xùn)練光譜集，一個(gè)訓(xùn)練光譜集與一個(gè)子區(qū)間對(duì)應(yīng)；通過(guò)對(duì)某一個(gè)子區(qū)間中隨機(jī)離散取多個(gè)值，對(duì)每一個(gè)離散取值點(diǎn)利用正向光學(xué)特性建模程序仿真出一條仿真光譜，這些仿真光譜組成的集合即為一個(gè)訓(xùn)練光譜集；一個(gè)支持向量機(jī)所有輸出類對(duì)應(yīng)的訓(xùn)練光譜集所包含的總的訓(xùn)練光譜，即為該支持向量機(jī)所需要的訓(xùn)練光譜。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于提取半導(dǎo)體納米結(jié)構(gòu)特征尺寸的方法，其特征在于，第2步中，利用訓(xùn)練完畢的支持向量機(jī)對(duì)測(cè)量光譜進(jìn)行映射，映射到一個(gè)對(duì)應(yīng)的子光譜數(shù)據(jù)庫(kù)的過(guò)程為：

每一個(gè)待提取參數(shù)對(duì)應(yīng)著的一個(gè)支持向量機(jī)的輸出端具有多個(gè)類，每一個(gè)類分別與待提取參數(shù)取值范圍所劃分的一個(gè)子區(qū)間對(duì)應(yīng)；通過(guò)將測(cè)量光譜輸入到某一個(gè)支持向量機(jī)，支持向量機(jī)的輸出為一個(gè)類，此輸出類表示該支持向量機(jī)對(duì)應(yīng)著的某一個(gè)待提取取值范圍的一個(gè)子區(qū)間；通過(guò)每一個(gè)待提取參數(shù)對(duì)應(yīng)的支持向量機(jī)的映射，則能夠確定每一個(gè)待提取參數(shù)的一個(gè)子區(qū)間，這些被確定的所有子區(qū)間唯一確定一個(gè)子光譜數(shù)據(jù)庫(kù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于提取半導(dǎo)體納米結(jié)構(gòu)特征尺寸的方法，其特征在于，第3步中，找出結(jié)果最優(yōu)的一條仿真光譜的方法為：

每一個(gè)子光譜數(shù)據(jù)庫(kù)中的所有光譜被整理成一個(gè)矩陣形式，矩陣的每一行為一條仿真光譜，此仿真光譜與一組結(jié)構(gòu)參數(shù)值唯一對(duì)應(yīng)；按照從上到下的原則，將矩陣中的每一條仿真光譜與測(cè)量光譜按照某一評(píng)價(jià)函數(shù)計(jì)算得到一個(gè)評(píng)價(jià)函數(shù)值；利用搜索算法或者排序算法找到所有評(píng)價(jià)函數(shù)值中最小的一個(gè)，該最小評(píng)價(jià)函數(shù)值對(duì)應(yīng)的一條仿真光譜即為最優(yōu)的仿真光譜。